AMPC - Multiport-Umgebungsüberwachung
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Datenmanagement und -austausch mit dem Fabriknetzwerk
Durch Luftströmungen übertragene molekulare Verunreinigungen (Airborne Molecular Contamination, AMC) sind in Halbleiterfabriken bekanntermaßen der wesentlichste Faktor für Ausbeuteverluste.
Um kontrollieren und nachvollziehen zu können, woher Verunreinigungen kommen, bringt Pfeiffer Vacuum jetzt eine einzigartige Lösung auf den Halbleitermarkt, mit deren Hilfe sich sowohl Reinraumumgebungen als auch Frontend-Module (Equipment Front End Module, EFEM) überwachen lassen.
Dank eines innovativen Designs mit integrierten Ventilen kann das AMPC die modernsten Analysatoren zum Nachweis und zur Quantifizierung von Säuren, Basen und organischen Verbindungen an bis zu 96 Stellen in einem Halbleiterwerk aufnehmen.
Zum AMPC-Produktprogramm gehören zwei Systeme: das AMPC S und das AMPC L, die sich hinsichtlich ihrer Außenabmessungen, der Anzahl der Probeentnahmeanlagen und der verfügbaren Optionen unterscheiden.
Darüber hinaus bietet der AMPC-Erweiterungsrahmen 39 Höheneinheiten für zusätzliche Analysatoren. Er kann zur Aufrüstung bestehender AMPC-Einheiten oder als Ergänzung zu neuen AMPC S- und AMPC L-Einheiten eingesetzt werden.
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Broschüre Contamination Management Solutions
Mit der Software des Systems können die Endanwender verschiedene Warnmeldungen festlegen für den Fall, dass der Verunreinigungsgrad definierte Schwellenwerte überschreitet.
Alle Messergebnisse und Systemparameter werden in einer Datenbank gespeichert, die über die Datenübertragungsprotokolle der Fabrik bereitgestellt werden kann, so dass Kunden Echtzeitinformationen zum Grad von Verunreinigungen in der Fabrik erhalten können.
Zudem kann der Kunde ferngesteuert auf das System zugreifen, um bei Bedarf Änderungen der Systemparameter vorzunehmen.
Kundennutzen
Echtzeitmessung von Stoffverbindungen (Säuren, Basen, organische Verbindungen)
Innovative Software zur Verwaltung von Prioritätsstufe, Qualitätskontrolle (QC) und Warnmeldungen für Probeentnahmeanlagen
96 Probeentnahmeanlagen in einem System versammelt (bis zu acht Analysatoren)
Hoher Durchsatz (Analyse und Reinigung in drei Minuten)
Keine gegenseitige Verunreinigung der verschiedenen Probeentnahmeanlagen
Multiport-Umgebungsüberwachung für den Halbleitermarkt
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