配备了 TC 1200 的 HiPace® 2800 IUT,DN 250 ISO-F

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  • 适用于离子注入系统
  • 优化的抽气速率,适于轻气体
  • 镀镍的转子确保可以耐受所用的搀杂剂
  • 智能温度管理系统可减少过程冷凝和沉积
  • 准 S2 和 UL/CSA 认证