Intelligent
Modernste Kommunikationsprotokolle, die an die Prozessanforderungen angepasst sind
Kompakt
Einfache Integration in Werkzeuge oder Sub-Floor durch anpassbare Einlassposition
Herausragende Leistung
Niedriger Enddruck, hoher Durchsatz
Technische Ausführung
Märkte und Anwendungen
Analytik und F&E
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Photonik-Forschung
Automobilindustrie und Transport
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Lecksuche und EoL-Prüfung
Stromerzeugung
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Grüne Energieerzeugung
Wasserstoff
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Lecksuche und EoL-Prüfung (Master)
Produktion von Lithium-Ionen-Batterien
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Lecksuche und EoL-Prüfung (Master)
Kühlung
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Lecksuche und EoL-Prüfung
Halbleiteranwendungen
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Inspektion & Messtechnik
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Lithografie
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Schleusen & Transfer