Sicher
Permanente Chemisorption in Kombination mit patentiertem Absorberdesign
Effizient
Geringer Medienverbrauch, optimierte Lebensdauer des Granulats
Wartungsfrei
Äußerst geringer Wartungsbedarf, da ohne bewegliche Teile
Technische Ausführung
Märkte und Anwendungen
Analytik und F&E
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Vakuumzentralanlagen
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Laborvakuum
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Photonik-Forschung
Pharmazeutik
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Laborvakuum
Halbleiteranwendungen
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PVD
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Metall- & High-k-Ätzen
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Niederdruck-Gasphasenabscheidung (LPCVD)/Diffusion
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Oxid-Ätzen
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Strippen/Veraschung
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ALD
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PECVD
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Poly-Silizium-Ätzen
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Ionenimplantation
Zubehör
- Elektrochemischer Sensor
- Ersatzkanister
- Ersatz-Bypass-Kanister