Zuverlässig
Erstklassige Hybridlagerung, lange Lebensdauer, maximale Verfügbarkeit
Einfache Wartung
Lagerwechsel vor Ort, unempfindlich gegenüber Prozessstaub
Herausragende Leistung
Speziell entwickelt für Beschichtungsprozesse, optimiertes Rotor/Stator-Konzept
Technische Ausführung
Märkte und Anwendungen
Halbleiter
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Niederdruck-Gasphasenabscheidung (LPCVD)/Diffusion
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Strippen/Veraschung
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PVD
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Inspektion & Messtechnik
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Poly-Silizium-Ätzen
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Lichtinduzierte Abscheidung
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Ionenimplantation
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PECVD
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Lithografie
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Metall- & High-k-Ätzen
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Oxid-Ätzen
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Schleusen & Transfer
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ALD