静音
低噪音和振动水平，非常适合半导体制造工艺和分析仪器中对振动敏感的应用
灵活
与多种前级泵兼容，MT 型号带集成加热系统，可满足要求严苛的化学条件，同类最佳的冷却水消耗量
几乎免维护
MT 型号采用磁悬浮轴承，无磨损部件，减少颗粒污染或残留物积聚
技术规格
市场和应用
车辆及运输
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太空探索
显示器
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物理气相沉积（PVD）
研发
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光子学研究
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太空探索
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超高真空
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等离子体物理
半导体
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LPCVD / 扩散
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PVD
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检验与计量
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Si Poly etch
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轻沉积
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离子注入
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PECVD
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光刻技术
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金属和高 K 蚀刻
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氧化物蚀刻
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Load lock 和 传输
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钴、WCVD、TiN 和 TDMAT
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ALD
太阳能
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电池制造
薄膜镀层
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光学涂层
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装饰涂层
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玻璃涂层
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耐磨损涂层