阀门可以通过多种方式驱动。
隔离阀通常手动或气动操作，而压力控制阀由电机驱动。
真空阀
真空系统设计的关键组件。
真空阀在真空系统的设计和功能实现方面发挥着至关重要的作用，可确保在各种工业和研究应用中实现精确控制和可靠运行。
我们的阀门产品组合包括种类繁多的压力调节阀和隔离阀，配备不同的执行器和法兰类型，以满足多样化的操作需求。
隔离阀
隔离阀对于通过隔离真空系统的各部分来保持真空条件至关重要。它们可控制气体或液体流动，并可通过手动、气动或电动方式操作。隔离阀适用于包括半导体制造、研发和工业流程在内的多种应用，确保可靠的密封和高效运行。压力调节阀
压力调节系统由三个基本组件组成：阀门、控制器和压力表。压力调节阀的主要功能是调节真空室内的压力和真空系统内的气体流量。这些阀门非常适合需要精确工艺控制的应用，例如半导体和涂层行业的应用。执行器
手动驱动
带手轮或快速关闭 / 快速打开机构的手动阀门耐温高达 150 °C，且无需电子部件即可操作。
电动驱动
电动驱动利用电动机将电能转换为精确的机械运动，无需压缩空气即可实现自动化和可靠的控制。
气动驱动
气动阀门需要无油压缩空气供应。
电-气动驱动
带有内置电磁阀的气动阀门，用于控制向阀门供应的压缩空气。
法兰
常见问题解答
哪种真空阀适合我的应用？
为您的应用找到合适的真空阀门的标准：
- 用途：应用对阀门的选型有显著影响。根据阀门主要用于开启和关闭真空管路还是调节压力，其要求会有所不同。
- 安装和系统兼容性：可用安装空间的物理尺寸以及真空泵和真空室的法兰对选择合适的阀门尺寸有直接影响。
- 泵送介质：流经阀门的气体成分对阀门材料的选择有很大影响，可确保阀门的耐用性和运行可靠性。
- 温度：了解预期温度对于选择合适的阀体和密封材料至关重要，以确保阀门长期稳定运行。
- 压力：了解阀门将承受的压力条件会影响阀门的选型。
阀门是如何驱动的？
气力驱动的阀门利用压缩空气控制阀门的移动。驱动阀门所需的空气压力通常在 4 至 8 bar 之间。
气动阀门主要有两种类型：
- 单作用阀门（通常为较小的角阀）使用压缩空气打开阀门，而当空气供应中断时，弹簧会将其恢复到默认位置。大多数单动阀通常是关闭的，这意味着压缩空气会打开阀门，而弹簧会确保阀门在泄压时关闭。
- 双动阀门（通常为较大的阀门）使用压缩空气进行打开和关闭操作，在要求苛刻的应用中提供更好的控制和运行可靠性。
为了调节压缩空气流量，使用电磁阀将空气导向阀门气缸。电磁阀配备集成式电磁阀，大多数真空系统需要 24V 直流供电的电磁阀才能运行。
出于监控目的，可以使用位置指示器来确定阀门是开启还是关闭。手动阀门通常带有视觉指示器，而气力阀门则可为真空系统提供直接反馈，确保精确控制和监控。
Pfeiffer 普发真空阀有何特别之处？
我们的压力调节阀融入了两项关键的创新设计，可实现超卓的性能：
- 每个控制器的核心是我们获得专利的电机控制技术，可实现快速定位以及极高的位置分辨率。
- 我们的自适应压力调节算法与电机控制协同工作，可确保几乎无误差的压力调节。
这些真空阀可用于哪些压力范围？
这些真空阀适用于所有真空应用，阀门的选择取决于特定压力级别所需的密封技术：
- Pfeiffer 普发为高真空应用（高达 1×10−⁸ hPa (mbar)）提供多种带有橡胶密封圈和 ISO-KF/ISO-K 法兰的阀门，确保可靠性能。
- 对于超高真空应用，在与湿润介质接触区域，带有金属密封件且配有 CF 法兰的阀门是理想选择。我们还提供带全金属密封件的全金属阀门。
有哪些类型的密封件和密封机制可供选择？
密封件和密封方法在为真空系统选择合适的阀门方面起着决定性作用。
- 橡胶密封圈为高真空应用提供可靠的密封。其耐温性取决于弹性体的材料和驱动类型。
- 金属密封件不需要弹性体，因此非常适合超高真空应用。它们可以承受高达 300°C 的温度。
有哪些类型的高真空阀门可供选择？
角阀可使气流转向 90°，而带有相对连接法兰的直通阀可轻松安装在直管管路中。这两种类型通常都使用波纹管作为密封件。
截止阀和隔离摆阀非常适合狭小空间，能够确保气流畅通无阻，同时保持光学通道完全无阻碍。它们专为高真空和超高真空设计，通常在 30 mbar 的低压差下开启， 是气闸或真空泵的上游位置的理想选择。
球阀也可用于某些高真空应用。经过成本优化的 KF 设计，泄漏率为 10-6 mbar l/s，耐温高达 80 °C。特殊设计适用于高真空范围，耐温高达 150°C。
选择合适的阀门取决于工艺顺序、工艺温度、极限真空和气体成分等多种因素。在以下部分中，我们将为您概述我们的阀门类型、密封件、密封机制和驱动类型等。在 Pfeiffer，您可以找到适合您的真空范围的阀门解决方案。