Robust
Speziell entwickelt für sehr anspruchsvolle Prozesse, hohe Partikelverträglichkeit, hervorragende Korrosionsbeständigkeit
Zuverlässig
Längere Lebensdauer
Herausragende Leistung
Bestes Verdichtungsverhältnis dieser Klasse, niedrigste Leistungsaufnahme auf dem Markt
Technische Ausführung
Märkte und Anwendungen
Halbleiteranwendungen
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Metall- & High-k-Ätzen
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Niederdruck-Gasphasenabscheidung (LPCVD)/Diffusion
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Lithografie
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Strippen/Veraschung
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ALD
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PECVD
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Kobalt, WCVD, TiN & TDMAT
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Glühen
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Poly-Silizium-Ätzen
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Lichtinduzierte Abscheidung
Solarindustrie
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Zellproduktion