Anwenderfreundlich
Großes und drehbares Farb-Touchdisplay, integriertes Werkzeug- und Aufbewahrungsfach
Herausragende Leistung
Schnelle Inbetriebnahme, hohes Saugvermögen, perfekt geeignet für anspruchsvolle Anwendungen in sauberen Umgebungen
Flexibel
Kompaktes und ergonomisches Design, einfacher Zugang zu allen Prüfbereichen
Technische Ausführung
Märkte und Anwendungen
Analytik und F&E
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Lecksuche
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Hochenergiephysik
Automobilindustrie und Transport
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Lecksuche und EoL-Prüfung
Chemische und pharmazeutische Industrie
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Lecksuche
Flachbildschirmproduktion
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Plasmagestützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD)
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Load-Lock-Kammern
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Physikalische Gasphasenabscheidung (PVD)
Krankenhäuser und medizinische Einrichtungen
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Leckageprüfung medizinischer Geräte
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Laborvakuum
Wasserstoff
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Lecksuche und EoL-Prüfung (Master)
Produktion von Lithium-Ionen-Batterien
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Lecksuche und EoL-Prüfung (Master)
Pharmazeutik
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Lecksuche
Kühlung
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Lecksuche und EoL-Prüfung
Halbleiteranwendungen
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PVD
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Inspektion & Messtechnik
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Metall- & High-k-Ätzen
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Niederdruck-Gasphasenabscheidung (LPCVD)/Diffusion
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Lithografie
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Oxid-Ätzen
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Anwendungen mit hohem Gasdurchsatz
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Strippen/Veraschung
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ALD
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PECVD
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Kobalt, WCVD, TiN & TDMAT
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Glühen
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Poly-Silizium-Ätzen
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Schleusen & Transfer
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Lichtinduzierte Abscheidung
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Ionenimplantation
Technische Gase
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Verflüssigung
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Isolationsvakuum
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Gastransport
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Flaschenabfüllung
Dünnfilmbeschichtung
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Laborbeschichtung