Pfeiffer Vacuum

Massenspektrometer im Lecksucher

 

Die Helium-Lecksuche hat sich seit vielen Jahren als Testmethode für die Dichtheitsprüfung etabliert. Ihre hohe Empfindlichkeit, die Zuverlässigkeit der Messungen und ihre einfache Reproduzierbarkeit sind dabei entscheidende Vorteile. Zum Nachweis von Prüfgasen setzt Pfeiffer Vacuum Lecksuchgeräte auf Basis von Massenspektrometern ein.

Funktion eines Sektorfeld-Massenspektrometers
Funktion eines Sektorfeld-Massenspektrometers

Massenspektrometer ionisieren ein Gasgemisch und isolieren das gewünschte Prüfgas durch das Masse-zu-Ladungs-Verhältnis. Durch die niedrige Nachweisgrenze dieses Detektors wird die große Empfindlichkeit der Pfeiffer Vacuum Lecksuchgeräte gewährleistet. Die sogenannte Spektrometerzelle ist das Herzstück eines Helium-Lecksuchgeräts. Vom Einlassflansch des Lecksuchers werden die Gase bis in die Spektrometerzelle geleitet. Dort werden die elektrisch neutralen Gasteilchen mit einem Elektronenstrahl und hoher Energie beschossen.
Dieser Strahl wird von einem Heizfaden bei hoher Temperatur erzeugt. Wird ein Elektron in der Hülle eines neutralen Gasteilchens getroffen, löst es sich aus dessen Elektronenhülle. Damit bleibt ein positiv geladenes Gasteilchen, ein „Ion“ übrig. Diesen Vorgang nennt man „Elektronenstoß-Ionisation“. Er geschieht mit einem hohen Anteil der eingeführten Gasteilchen. Die noch immer als Gemisch vorliegenden positiv geladenen Gasteilchen werden nun in einem elektrischen Feld beschleunigt.

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