Vacuum Technology Book, Volume II

1.3.5 Restgaszusammensetzung

Für das Arbeiten im Ultrahochvakuum, vor dem Beginn von Vakuumprozessen oder zur Prozessüberwachung und -regelung kann es von Bedeutung sein, die Zusammensetzung des Restgases zu kennen. Bei nicht sauberen bzw. nicht gut ausgeheizten Vakuumkammern sind die Anteile von Wasser (m/e = 18) und dessen Fragments OH (m/e = 17) groß. Lecks erkennt man an den Signalintensitäten von Stickstoff (m/e = 28) und Sauerstoff (m/e = 32) im Verhältnis N2/O2 von etwa 4 zu 1.

In gut ausgeheizten Kammern findet man Wasserstoff, (m/e = 2), Wasser (m/e = 17 und 18), Kohlenmonoxid (m/e = 28) und Kohlendioxid (m/e = 44). Bei Verwendung von Turbomolekularpumpen findet man keine Kohlenwasserstoffe. Sie werden aufgrund der hohen molekularen Massen und der daraus resultierenden hohen Kompressionsverhältnisse sehr effektiv aus der Kammer ferngehalten. Ein typisches Restgasspektrum eines sauberen, von einer Turbomolekularpumpe evakuierten Behälters zeigt

Typisches Restgasspektrum einer Turbomolekularpumpe

Abbildung 1.10: Typisches Restgasspektrum einer Turbomolekularpumpe

Weitere Details zum Arbeiten mit Massenspektrometern finden sich in Kapitel 6, Massenspektrometer und Restgasanalyse.

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