Vacuum Technology Book, Volume II

1.2.7 pV-Durchfluss

Dividiert man die allgemeine Gasgleichung (Formel 1-6) durch die Zeit t, so erhält man den Gasstrom

\[q_{pV}=\frac{p\cdot V}t = \frac{m\cdot R\cdot T}{M\cdot t}\]

Formel 1-15: pV-Durchfluss

$q_{pV}$ pV-Durchfluss [Pa m3 s-1]

Man sieht aus der rechten Seite der Gleichung, dass bei gleicher Temperatur T ein konstanter Massenstrom gefördert wird. Dieser Gasstrom wird auch pV-Durchfluss oder Gasdurchsatz genannt. Bezogen auf eine Vakuumpumpe wird der geförderte Strom als Saugleistung bezeichnet.

\[q_{pV} = S\cdot p = \frac{dV}{dt}\cdot p\]

Formel 1-16: Saugleistung einer Vakuumpumpe

Dividiert man die Saugleistung durch den Eingangsdruck, so erhält man einen Volumenstrom, das Saugvermögen einer Vakuumpumpe:

\[S = \frac{dV}{dt}\]

Formel 1-17: Saugvermögen einer Vakuumpumpe

In Tabelle 1.8 ist eine Umrechnungstafel für verschiedene Einheiten der Saugleistung angegeben.

Pa m3 / s = W mbar l / s Torr l / s atm cm3 / s lusec sccm slm Mol / s
Pa m3 / s 1 10 7,5 9,87 7,5·103 592 0,592 4,41·10-4
mbar l / s 0,1 1 0,75 0,987 750 59,2 5,92·10-2 4,41·10-5
Torr l / s 0,133 1,33 1 1,32 1.000 78,9 7,89·10-2 5,85·10-5
atm cm3 / s 0,101 1,01 0,76 1 760 59,8 5,98·10-2 4,45·10-5
lusec 1,33·10-4 1,33·10-3 10-3 1,32·10-3 1 7,89·10-2 7,89·10-5 5,86·10-8
sccm 1,69·10-3 1,69·10-2 1,27·10-2 1,67·10-2 12,7 1 10-3 7,45·10-7
slm 1,69 16,9 12,7 16,7 1,27·104 1.000 1 7,45·10-4
Mol / s 2,27·103 2,27·104 1,7·104 2,24·104 1,7·107 1,34·106 1,34·103 1

Tabelle 1.8: Umrechnungstabelle Saugleistung

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