Pfeiffer Vacuum

7.3.2 Vergleich der Prüfergebnisse mit Lecksuchgerät und Quadrupol-Massenspektrometer

Quadrupolmassenspektrometer dienen in erster Linie zur Analyse der Zusammensetzung von Gasgemischen. Dazu benötigen sie Prüfdrücke im Hochvakuumbereich. Massenspektrometer können mit fast beliebigen Prüf-gasen eingesetzt werden, ihre Anwendung ist nicht unbedingt auf das klassische Prüfgas Helium beschränkt. Restgasanalysatoren können Lecks in einer Vakuumanlage auch ohne spezielles Prüfgas erkennen. Dazu wird eine Analyse der Massen der Luftgase vorgenommen.

Massenspektrum eines Rezipienten mit Luftleck

Abbildung 7.9: Massenspektrum eines Rezipienten mit Luftleck

Lecksuchgeräte für das Prüfgas Helium werden derzeit nicht auf der Basis von Quadrupolmassenspektrometern aufgebaut. Die größere Robustheit und Langzeitstabilität sowie die einfachere Quantifizierung der Ergebnisse und Dateninterpretation hat dazu geführt, dass hier in erster Linie massenspektrometrische Detektoren auf der Basis magnetischer Sektorfeld-Massenspektrometer dominieren.

Geräte mit Detektoren auf der Basis eines Quarzfenstersensors besetzen Anwendungen mit, in denen die überlegene Empfindlichkeit massenspektrometrischer Detektoren nicht erforderlich ist. Dafür erlaubt ein Gerät mit Quarzfenstersensor die Arbeit bei sehr hohen Prüfdrücken und mit hoher Wasserdampfbelastung.

  Lecksucher RGA / QMS
Leck, Ortung ja ja
Leck, quantitativ ja nein
Leck, virtuell nein ja
Permeation Grobe Angabe möglich, keine Unterscheidung zwischen Permeation und Desorption ja, Dateninterpretation möglich
Desorption ja, Aussage über desorbierende Gase
Prüfdruck hoch niedrig
Nachweisgrenze 5 · 10-13 Pa m3 s-1
(Sektorfeld-MS)
5 · 10-9 Pa m3 s-1
(Quarzfenster-Detektor)
Ionenstrom von Stabsystem und Detektor abhängig
Allgemeines Quantitative Leckageratenmessung möglich Qualitatives Instrument, Quantifizierung aufwändig, erfordert mehr Know-how, liefert mehr Informationen

Tabelle 7.3: Vergleich von Lecksuchgerät und Quadrupol-Massenspektrometer

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