Pfeiffer Vacuum

7.2.4 Kalibrierung des Lecksuchers

Zur quantitativen Bestimmung von Leckraten muss der Lecksucher kalibriert werden. Man benutzt dazu ein käufliches Prüfleck, das unter definierten Bedingungen eine bekannte und wiederholbare Prüfgasrate erzeugt. Kommerzielle Bauformen sind als Permeationsleck oder als Kapillarleck mit oder ohne Prüfgasreservoir erhältlich. In einen Lecksucher sind meist Permeationslecks mit Heliumreservoir eingebaut. Für eine Kalibrierung ist in Lecksuchern oft ein entsprechendes Ablaufprogramm eingebaut, das die Kalibrierung automatisch vornimmt.

Für genaue Messungen sollte eine Kalibrierung direkt vor jedem Einsatz vorgenommen werden. Für den Test von großen Prüflingen bei denen zusätzliche Vakuumpumpen

im Einsatz sind, ist es sinnvoll, ein externes Prüfleck zu verwenden. Das Prüfergebnis kann vom Anbringungsort des Testlecks abhängen. Deshalb sind die Strömungsverhältnisse innerhalb des Vakuumbereichs zu berücksichtigen. Auch zur Bestimmung einer maximalen Ansprechzeit ist der Einsatz von externen Prüflecks sinnvoll.

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