Pfeiffer Vacuum

Pfeiffer Vacuum bietet zwei Grundmodelle von Massenspektrometern an:

  • Das kompakte PrismaPlus mit Ø 6 mm Stabsystem und 100 mm Länge und
  • das hoch auflösende HiQuad mit Massenfiltern von Ø 8 oder Ø 16 mm Durchmesser und 300 mm Länge.

PrismaPlus

Es handelt sich hierbei um ein kompaktes Gerät, dessen gesamte Elektronik an den Analysator angebaut ist und zum Ausheizen abgenommen werden kann. Das PrismaPlus vereinigt folgende Eigenschaften:

  • Massenbereiche 100 u, 200 u und 300 u
  • Als Detektoren stehen ein Faraday-Cup und ein C-SEM zur Verfügung
  • Ausrüstung mit verschiedenen Ionenquellen und Filamenten
  • Der Analysator ist bis zu 150 °C ausheizbar

Das PrismaPlus wird sowohl als Einzelgerät eingesetzt als auch in Module und Analysensysteme integriert.

HiQuad

Diese Geräte von höchster Präzision vereinigen folgende Merkmale:

  • Die Massenbereiche: 1-16 u, 1-128 u, 1-340 u, 1-300 u, 1-512 u, 1-1.024 u und 1-2.048 u werden von unterschiedlichen Modellen abgedeckt.
  • Es gibt verschiedene Massenfilter mit Stabdurchmessern: 6 mm, 8 mm Molybdän, 8 mm Edelstahl und 16 mm Molybdän.
  • Nahezu alle oben beschriebenen Ionenquellen können mit den Analysatoren kombiniert werden.
  • Es gibt Ionenoptiken zur Analyse von Neutral-Teilchen und positiven sowie negativen Ionen (SIMS).
  • Alle Arten von Detektoren, Faraday-Cup, Faraday-Cup und SEM, Faraday-Cup und C-SEM sowie Ionenzähler sind in unterschiedlichen Anordnungen verfügbar.
  • Diese Massenspektrometer können mit Hilfe von Ein/Ausgabe-Modulen in Analysensysteme integriert werden.

Module

Module sind Spezialgeräte zur Prozessüberwachung oder zur Gasanalyse mit verschiedenen Gaseinlasssystemen und angebauten trockenlaufenden Turbodragpumpständen zum Evakuieren des Analysators:

  • Der HPA 220 High Pressure Analyzer basiert auf dem PrismaPlus. Prozessdruck bis 50 hPa, manuelle und automatische Gaseinlasssysteme stehen zur Verfügung
  • Der SPM 220 Sputter Process Monitor basiert auf dem PrismaPlus. Prozessdruck bis 10-2 hPa oder 10 hPa durch verschiedene Gaseinlassoptionen
  • Der SPM 700 Sputter Process Monitor basiert auf dem HiQuad. Prozessdruck wie SPM 220
  • Der EPD 700 dient zum Nachweis positiver Ionen beim Ätzten in der Gasphase und basiert auf dem HiQuad. Prozessdruck bis 10-2 hPa

Benchtop-Massenspektrometer

Pfeiffer Vacuum bietet komplette Systeme für die Analyse von Gasen bei Atmosphärendruck, basierend auf dem PrismaPlus. Die optimierten Gaseinlasssysteme verwenden geschlossene Ionenquellen zur Erzielung höchster Nachweisempfindlichkeiten.

  • Der OmniStar GSD 320 O dient zur quantitativen Gasanalyse bei Atmosphärendruck mit beheiztem und temperaturgeregelten Gaseinlasssystemen.
  • Der ThermoStar GSD 320 T ist für die Kopplung mit Thermowaagen vorgesehen. Mittels einer Quarzkapillare können Gasproben mit hoher Temperatur eingelassen werden. Die inerte Quarzoberfläche verhindert Oberflächenreaktionen und vermeidet dadurch eine Verfälschung der Messergebnisse.

Diese Geräte oder Teile davon werden von OEM-Kunden in Komplettgeräte eingebaut, die eine Vielzahl weiterer Funktionen aufweisen können, wie eine vorgeschaltete Aufbereitung der zu analysierenden Substanzen (z. B. Verdampfung von Aerosolen) oder die Bereitstellung von Kalibriergasgemischen für eine automatische Kalibrierung.

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