Vacuum Technology Book, Volume II

6.4.1 Vorteile der Pfeiffer Vacuum Massenspektrometer

Der Potentialverlauf in einer Pfeiffer Vacuum Ionenquelle ist in Abbildung 6.20 dargestellt. Die Elektronen emittierende Heißkathode liegt auf einem Potential von etwa 20 V. Üblicherweise ist die Wehneltelektrode mit dem positiven Pol der Kathode verbunden und verhindert, dass Elektronen in die Umgebung der Ionenquelle gestreut werden. Die Elektronen werden durch die Anodenspannung V2 = 80 V in den Formationsraum (100 V) hinein beschleunigt und ionisieren dort eindringende neutrale Gasmoleküle. Durch eine Blende werden die Ionen von der Extraktionselektrode mit einem Potential V5 = -150 V beschleunigt und von der Fokussierungs-elektrode wieder auf V3 = 80 V abgebremst. Die Einschussblende beschleunigt die Ionen nochmals, bevor sie dann vom Feldachsenpotential V4 = 85 V abgebremst mit einer Energie von etwa 15 eV (Differenz zwischen Formationsraum und Feldachse) ins Massenfilter eintreten.

Potentialverlauf in einer elektrisch
					hochgelegten Ionenquelle

Abbildung 6.20: Potentialverlauf in einer elektrisch hochgelegten Ionenquelle

Die Pfeiffer Vacuum Massenspektrometer PrismaPlus und HiQuad zeichnen sich durch die oben beschriebene elektrisch hochgelegte Ionenquelle und die Feldachsentechnologie aus.

Elektrisch hochgelegte Ionenquelle

Bei vielen Quadrupol Massenspektrometern liegt die Kathode auf Erd- oder gar negativem Potential. Die emittierten Elektronen werden von der Kathode (Filament) zum Ionisationsraum (Anode) hin beschleunigt und ionisieren dort neutrale Gasteilchen, die dann in das Massenfilter extrahiert werden. Bei diesen Feldverhältnissen können aber auch Elektronen auf andere Flächen im Vakuum auftreffen und dort EID-Ionen (Electron Impact Desorption) auslösen. Dies führt zu einem unerwünschten Untergrund und kann bei stark belegten Oberflächen des Rezipienten zu beträchtlichen Gasausbrüchen beim Einschalten des Filaments führen.

Pfeiffer Vacuum Ionenquellen liegen auf positivem Potential (ca. 100 – 150 V). Von dort emittierte Elektronen werden von allen Oberflächen mit negativem Potential abgestoßen und so von diesen ferngehalten, sodass keine störenden EID-Ionen ausgelöst werden.

Feldachsentechnologie

Die in der Ionenquelle gebildeten Ionen werden mit hoher kinetischer Energie in Richtung des Massenfilters beschleunigt. Dies hat zur Folge, dass die Ionen nicht durch Rand- oder Störfelder beeinflusst werden können und sich mit einer zunächst hohen Energie auf das Massenfilter zu bewegen. So erreicht man optimale Einschussbedingungen in das Quadrupolfeld auch ohne Vorfilter, wie sie bei anderen Massenspektrometern verwendet werden müssen. Das Massenfilter selbst ist entsprechend elektrisch auf die Feldachsenspannung hochgelegt, sodass die Ionen bei Eintritt ins Filter wieder auf eine kinetische Energie von ca. 15 eV abgebremst werden. Diese Energie - im Fachjargon Feldachsenspannung genannt – bestimmt zusammen mit der Masse der Ionen deren Geschwindigkeit und damit auch deren Laufzeit im Massenfilter. Durch die so erzeugten, günstigen Einschussbedingungen wird eine über einen weiten Massenbereich hohe Transmission der Ionen durch das Massenfilter und somit auch eine hohe Empfindlichkeit des Gesamt-Systems erreicht.

Rechtwinklige Anordnung des Sekundärelektronenvervielfachers

Ein weiterer Vorteil der Pfeiffer Vacuum Massenspektrometer ist die Anordnung der Sekundärelektronenvervielfacher SEV um 90° abgewinkelt zu Filterachse (90 degrees off axis SEM, Abbildung 6.21).

Ordnet man den SEM in Achsrichtung hinter dem Massenfilter an, so erzeugen alle auftreffenden Teilchen (Neutralteilchen, Ionen, Elektronen, Photonen) Sekundärelektronen und tragen damit zum Untergrundsignal bei. Um dies zu vermeiden werden die aus dem Filter austretenden Ionen um 90 Grad abgelenkt und dann auf die erste Dynode des SEM beschleunigt. Neutralteilchen und Photonen werden von der elektrischen Umlenkeinheit überhaupt nicht und Elektronen in viel stärkerem Maße als die Ionen abgelenkt. So erreicht man, dass fast ausschließlich die durch das Filter durchgelassenen Ionen auf den Verstärker auftreffen, was zu einer erheblichen Verbesserung des Signal/Rausch-Verhältnisses führt.

Die HiQuad Analysatoren sind von wenigen Spezialausführungen abgesehen mit dieser Technologie ausgestattet.

Beim PrismaPlus wird als Stromverstärker ein C-SEM in Axialrichtung angeboten. Auch hier werden die aus dem Massenfilter austretenden Ionen in Richtung auf den C-SEM leicht abgelenkt und damit von den unerwünschten Teilchen getrennt.

90° off axis SEM

Abbildung 6.21: 90° off axis SEM

Massendiskriminierung

Die Zahl der Sekundärelektronen, die für jedes auf der Konversionsdynode eintreffende Ion gebildet werden, hängt von der Ionenmasse, der Art des Ions (Atom- oder Molekülion) und der Ionenenergie ab. Die Konversions-rate ist also massenabhängig. Der Effekt wird Massendiskriminierung genannt und ist bei einem diskret aufgebauten SEM weniger stark ausgeprägt als bei einem C-SEM. Durch Beschleunigung der Ionen auf eine hohe Energie vor dem Auftreffen auf die Konversionsdynode kann die Massendiskriminierung reduziert werden.

Zusammenfassung

Um über einen großen Massenbereich eine möglichst hohe Transmission bei vorgewählter Massenauflösung zu erzielen, ist sowohl eine stabile HF-Versorgung als auch ein mechanisch präzises Filter notwendig. Eine hoch gelegte Ionenquelle mit geeignet gewählter Feldachsentechnologie sowie die 90°-Anordnung des SEM verbessern das Signal/Rausch-Verhältnis erheblich. Die Massendiskriminierung an einem SEV oder einem C-SEM kann mit Hilfe einer auf hohe Spannung gelegten Konversionsdynode reduziert werden.

Quadrupol-Massespektrometer zeichnen sich gegenüber anderen Aufbauten aus durch:

  • Kleine Baugröße und geringes Gewicht
  • Linearen Zusammenhang zwischen Masse und HF-Spannungsamplitude
  • Hohe Empfindlichkeit
  • Großen Signal/Rausch-Verhältnis
  • Hohe Messgeschwindigkeit und Wiederholrate
  • Großen dynamischer Bereich (bis zu 10 Dekaden)
  • Beliebige Einbaulage
  • Keine störenden Magnetfelder

Mit diesen Vorteilen hat sich das Quadrupol-Massenspektrometer zum meist verwendeten Massenspektrometer entwickelt.

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