Sektorfeld-Massenspektrometer werden in der Vakuumtechnik wegen ihrer einfachen und robusten Bauart für Heliumlecktestgeräte verwendet. Hier ist der Massenbereich auf die Massen 2 u (Wasserstoffmolekül) bis 4 u (Heliumatom) beschränkt. Dies ermöglicht die Konstruktion kleiner, kompakter jedoch sehr leistungsfähiger Massenspektrometer.

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