Pfeiffer Vacuum

6.2.2 Anwendungshinweise

Sektorfeld-Massenspektrometer für den Nachweis von Helium sind heute in Lecktestgeräte mit automatisch gesteuertem Vakuumsystem integriert. Dies nimmt dem Betreiber die Hauptsorge um die Funktionsfähigkeit des Spektrometers ab. An dieser Stelle sei jedoch darauf hingewiesen, dass die Sauberkeit der Inneren Oberflächen für den Erhalt der hohen Nachweisempfindlichkeit von großer Bedeutung ist.

  • Ablagerungen führen durch den Beschuss mit gestreuten Ionen zu lokalen Raumladungen, welche die Bahn der Heliumionen ablenken und damit weniger Ionen zum Detektor gelangen lassen.
  • Ablagerungen auf der Mikrokanalplatte vermindern die Ausbeute an Sekundärelektronen und verringern so den Verstärkungsfaktor.

Während die inneren Wandungen des Spektrometers gereinigt werden können, muss eine verschmutzte Mikrokanalplatte ersetzt werden. Saubere Prüfobjekte und -vorrichtungen sind daher sehr wichtig, um die hohe Nachweisempfindlichkeit der Geräte zu erhalten.

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