Vacuum Technology Book, Volume II

3.5.4 Weitere Durchführungen

Thermoelementdurchführungen übertragen kleine Thermospannungen und müssen auf das verwendete Thermoelement abgestimmt sein. Die Materialien der Leiterpaare für Thermoelemente müssen entweder identisch mit denen des Thermoelements sein oder zumindest thermoelektrisch vergleichbar, sodass eine thermoelektrisch neutrale Übertragung der Thermospannung erfolgt. Für Mantelthermoelemente sind zudem elastomergedichtete Durchführungen verfügbar, deren O-Ringe den Mantel vakuumdicht umschließen.

Fluiddurchführungen sind in Flansche eingeschweißte Rohre, deren Enden offen oder mit Swagelok®- oder VCR-Verschraubungen versehen sind. Für die Durchleitung von kalten oder heißen Fluiden werden doppelwandige Verrohrungen verwendet, bei denen die medienführenden Rohre thermisch gegen den Flansch isoliert sind.

Isolatoren werden eingesetzt, um Bereiche galvanisch zu entkoppeln. Die hermetisch dicht an Flanschanschlüssen verlöteten Keramiken können abhängig von der Länge der Isolationsstrecke große Potenzialunterschiede im hohen kV-Bereich trennen.

Rohrdurchführungen klemmen über zwei in Reihe liegende Elastomer-O-Ringe Glas- oder Metallrohre vakuumdicht ein.

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