Vacuum Technology Book, Volume II

3.7.3.2 Konstruktionsmerkmale eines XY-Achsen-Präzisionsmanipulators

Die Konstruktion eines XY-Achsen-Präzisionsmanipulators zeichnet sich ebenfalls durch eine sehr stabile Konstruktion aus, die einen Ausgleich zwischen Gewicht, Baugröße und Stabilität darstellt. Seine tragende Grundstruktur ist verwindungssteif aus einer Aluminiumlegierung gefertigt, deren Oberfläche eloxiert und damit langlebig geschützt ist.

Präzisionkreuzrollenführungen sichern eine lange Lebensdauer bei höchster Präzision. Der manuelle Antrieb der beiden Achsen erfolgt über Mikrometerschrauben mit großer Betätigungstrommel. Sie gewährleistet eine einfache, ergonomische Einstellung bei einer sehr guten Lesbarkeit der Skala und führt damit zu einer hohen Auflösung.

Ein Freiraum um die Balgeinheit sorgt für die Montagemöglichkeit einer Heizmanschette, sodass diese gleichmäßig geheizt werden kann. Auch hier ist die Balgeinheit einfach austauschbar, sodass sie nach Durchfahren der ausgelegten Anzahl an Zyklen ausgetauscht werden kann.

XY-Achsen-Präzisionsmanipulator

Abbildung 3.29: XY-Achsen-Präzisionsmanipulator

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