Pfeiffer Vacuum

3.6.4 Schieberventile

Während die zuvor beschriebenen Ventile nur teilweise den Nennquerschnitt freigeben, bieten Schieberventile einen freien Durchgang im geöffneten Zustand. Zusammen mit ihrer geringen Bauhöhe, führt dies zu hohen Leitwerten und damit verbundenen minimalen Leistungsverlusten beim Einsatz mit Hochvakuumpumpen.

Zum Öffnen und Schließen wird der meist doppelt ausgeführte Ventilteller hin- und herbewegt. In der Verschlussstellung werden beide Teile durch Kugeln aus-einander und gegen die Dichtflächen gedrückt. Je nach Bewegungsrichtung der Ventilschieber unterscheidet man Zug-, Pendel- oder Drehschieberventile. Wegen der besonderen Konstruktion können die meisten Schieber zwar am Ventilteller gegen einen Differenzdruck von 0,1 MPa abdichten, aber nur bei kleinem Differenzdruck am Ventilteller geöffnet werden.

UHV-Zugschieberventil UHV-Zugschieberventil: Stellungen Abbildung 3.23: UHV-Zugschieberventil

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