Pfeiffer Vacuum

4.2.3.2 Zweistufige Drehschiebervakuumpumpen

Zweistufige Drehschieberpumpen sind für Anwendungen im Grob- und Feinvakuumbereich bis zu einem Druck von 10-3 hPa geeignet. Eine eingebaute Gasballasteinrichtung erlaubt das Abpumpen von kondensierbaren Dämpfen.

DuoLine

Die Drehschiebervakuumpumpen der DuoLine werden je nach Größe mit Wechsel- oder Drehstrommotoren angetrieben. Neben den Standardtypen stehen folgende Baureihen zur Verfügung: Pumpen mit Magnetkupplung (Duo M-Reihe) sowie Korrosivgaspumpen mit und ohne Magnetkupplung (Duo MC-Reihe).

Duo M-Reihe

Pumpen der M-Reihe sind mit einer Magnetkupplung mit Spaltrohr ausgestattet. Durch dieses verschleißfreie Dichtungskonzept sind die Pumpen hermetisch dicht und damit sauber und umweltverträglich. Der Einsatz der Magnetkupplung minimiert die Wartung und führt dadurch zu erheblichen Kosteneinsparungen.

DuoLine
Typenbezeichnung Saugvermögen Enddruck Einsatzbereiche / Anwendungsgebiete
Duo 1,6 1,25 m³ · h-1 3 · 10-3 hPa Turbopumpstände, Analytik, Forschung & Entwicklung, Beschichtung
Duo 3 2,5 m³ · h-1 3 · 10-3 hPa
Duo 6 5 m³ · h-1 3 · 10-3 hPa
Duo 11 9 m³ · h-1 3 · 10-3 hPa
Duo 35 32 m³ · h-1 3 · 10-3 hPa
Duo 65 62 m³ · h-1 2 · 10-3 hPa
Duo 125 115 m³ · h-1 2 · 10-3 hPa
Duo 255 250 m³ · h-1 3 · 10-3 hPa

Tabelle 4.4: Kenndaten DuoLine

Duo M-Reihe
Typenbezeichnung Saugvermögen Enddruck Einsatzbereiche / Anwendungsgebiete
Duo 1,6 M 1,25 m³ · h-1 3 · 10-3 hPa Turbopumpstände, Analytik, Forschung & Entwicklung, Beschichtung, nicht explosive, toxische Gase
Duo 3 M 2,5 m³ · h-1 3 · 10-3 hPa
Duo 6 M 5 m³ · h-1 3 · 10-3 hPa
Duo 11 M 9 m³ · h-1 3 · 10-3 hPa
Duo 35 M 32 m³ · h-1 3 · 10-3 hPa
Duo 65 M 62 m³ · h-1 2 · 10-3 hPa
Duo 125 M 115 m³ · h-1 2 . 10-3 hPa
Duo 255 M 250 m³ · h-1 3 · 10-3 hPa

Tabelle 4.5: Kenndaten Duo M-Reihe

Duo MC-Reihe

Pumpen der MC-Reihe sind für Korrosivgasanwendungen geeignet. Sie unterscheiden sich von den Standardpumpen durch ein spezielles Gasballastventil, durch das Inertgas in die Pumpe eingelassen werden kann. Daneben sind die Pumpen mit Spezialschiebern ausgestattet, die besonders resistent gegen Chemikalien sind. Alle Korrosivgaspumpen der MC-Reihe sind für den Betrieb mit den chemieresistenten Betriebsmitteln F4 bzw. F5 (Perfluorpolyether) vorbereitet. Die Duo MC-Pumpen sind besonders zum Pumpen toxischer Gase geeignet, da durch die hermetisch dichte Magnetkupplung kein Gas nach außen dringen kann.

Pascal

Die Drehschiebervakuumpumpen der Baugruppe Pascal werden in der Saugvermögensklasse von 5 bis 21 m3 · h-1 alternativ mit Wechsel- oder Drehstrommotoren angetrieben. Einlass- und Auslassflansch können vertikal oder horizontal für bestmögliche Integration oder Anbringung von Zubehör montiert werden. Neben der Standardreihe stehen die I-Reihe mit Zwangsschmierung und zwei unterschiedliche Korrosivgasreihen zur Auswahl.

SD-Reihe

Die Drehschiebervakuumpumpen der SD-Reihe sind für nicht-korrosive Gase ausgelegt. Ihre Bedarfsschmierung (Saugvermögensklasse bis 21 m3 · h-1) sorgt für minimalen Ölauswurf am Auspuff. Durch niedrige Pumpentemperatur wird die Ölrückströmung bei Langzeitbetrieb am Enddruck minimiert.

Wie bei allen anderen Pumpen der Saugvermögenklasse bis 21 m³ · h-1 ist die Wellendichtung der Pumpen ohne Zerlegen des Pumpenblocks zugänglich und ermöglicht so eine leichte Wartung im Feld.

I-Reihe

Die Pumpen der I-Reihe sind mit einer Zwangsschmierung ausgerüstet. Damit erzielen sie eine verbesserte Wasserdampfverträglichkeit im Vergleich zur SD-Serie. Durch die Zwangsschmierung erreichen die Pumpen der I-Serie ein sehr geringes Geräuschniveau und niedrige Vibrationen.

C1-Reihe

Die zwangsgeschmierten Pumpen der C1-Serie sind durch FPM-Dichtungen und chromoxidbeschichtete Wellen sowie spezielle Materialien für Gehäuse, Schieber, Wellenhülsen und Schaugläser besonders für Korrosivgasanwendungen geeignet. Die beiden größten Modelle der Serie verfügen zusätzlich über integrierte Ölfilter und eine Ölkastenspülung.

Die C1-Serie wird werksseitig für den Einsatz mit Mineralölen vorbereitet.

Duo MC-Reihe
Typenbezeichnung Saugvermögen Enddruck Einsatzbereiche / Anwendungsgebiete
Duo 20 MC 20 m³ · h-1 5 · 10-3 hPa Korrrosivgasanwendungen, Chemielabor, toxische, nichtexplosive Gase
Duo 35 MC 32 m³ · h-1 3 · 10-3 hPa
Duo 65 MC 62 m³ · h-1 3 · 10-3 hPa

Tabelle 4.6: Kenndaten Duo MC-Reihe

Pascal SD-Reihe
Typenbezeichnung Saugvermögen Enddruck Einsatzbereiche / Anwendungsgebiete
2005 SD 5 m³ · h-1 2 · 10-3 hPa Industrie, Analytik, Forschung & Entwicklung, Lecksuche
2010 SD 10 m³ · h-1 2 · 10-3 hPa
2015 SD 15 m³ · h-1 2 · 10-3 hPa
2021 SD 21 m³ · h-1 2 · 10-3 hPa
2033 SD 30 m³ · h-1 3 · 10-3 hPa
2063 SD 60 m³ · h-1 3 · 10-3 hPa

Tabelle 4.7: Kenndaten Pascal SD-Reihe

Pascal I-Reihe
Typenbezeichnung Saugvermögen Enddruck Einsatzbereiche / Anwendungsgebiete
2005 I 5 m³ · h-1 2 · 10-3 hPa Analytik, Forschung & Entwicklung, Trocknung, Destillation
2010 I 10 m³ · h-1 2 · 10-3 hPa
2015 I 15 m³ · h-1 2 · 10-3 hPa
2021 I 21 m³ · h-1 2 · 10-3 hPa

Tabelle 4.8: Kenndaten Pascal I-Reihe

C2-Reihe

Die Pumpen der C2-Serie sind ebenfalls zwangsgeschmiert. Ihre Korrosivgasausrüstung übertrifft diejenige der C1-Serie durch Lagerbeschichtung, eine Neutralgasspülung zur Entgasung des Betriebsmittels sowie spezielle Schiebermaterialien. Die beiden größten Modelle der Serie sind zusätzlich mit Anschlüssen für Öldruck- und Öltemperatursensoren ausgestattet. Mit dieser Korrosivgasausrüstung sind die Pascal C2-Pumpen in besonderem Maße für den Einsatz in Ätz- und Beschichtungsprozessen der Halbleitertechnologie geeignet.

Die C2-Serie wird werksseitig für den Einsatz mit perfluorierten Betriebsmitteln vorbereitet.

Pascal C1-Reihe
Typenbezeichnung Saugvermögen Enddruck Einsatzbereiche / Anwendungsgebiete
2005 C1 5 m³ · h-1 2 · 10-3 hPa Korrrosivgasanwendungen, Chemielabors, Schleusen und Transferkammern mit Chemikalienbelastung, Sterilisation
2010 C1 10 m³ · h-1 2 · 10-3 hPa
2015 C1 15 m³ · h-1 2 · 10-3 hPa
2021 C1 21 m³ · h-1 2 · 10-3 hPa
2033 C1 30 m³ · h-1 3 · 10-3 hPa
2063 C1 60 m³ · h-1 3 · 10-3 hPa

Tabelle 4.9: Kenndaten Pascal C1-Reihe

Pascal C2-Reihe
Typenbezeichnung Saugvermögen Enddruck Einsatzbereiche / Anwendungsgebiete
2010 C2 10 m³ · h-1 2 · 10-3 hPa Beschichtung, Halbleiter (CVD, Plasmaätzen, Implantation), Pumpen von reinem Sauerstoff
2015 C2 15 m³ · h-1 2 · 10-3 hPa
2021 C2 21 m³ · h-1 2 · 10-3 hPa
2033 C2 30 m³ · h-1 3 · 10-3 hPa
2063 C2 60 m³ · h-1 3 · 10-3 hPa

Tabelle 4.10: Kenndaten Pascal C2-Reihe

Ölsorte Beschreibung Erreichbarer Enddruck Anwendungen und Eigenschaften HenaLine, UnoLine Plus, DuoLine, OktaLine Pascal
P3 Mineralöl für Standardanwendungen Extrem niedriger Dampfdruck < 1 · 10-3 hPa Luft, nicht-korrosive Gase, Edelgase
A120 Mehrzweck-Mineralöl ohne Additive, Universalöl für 50 Hz < 3 · 10-3 hPa Luft, nicht-korrosive Gase, Edelgase; hohe Viskosität
D1 Diesteröl für Standard- und Sonderapplikationen < 5 · 10-2 hPa Luft, nicht-korrosive Gase, Edelgase, Sauerstoff, schwach aggressive und organische Lösungsmittel
A155 Synthetiköl auf organischer Esterbasis < 3 · 10-3 hPa Kohlenwasserstoffhaltige Dämpfe, NH3, R134a, Kältemittel; oxidationsbeständig, beständig gegen Polymerisation (geringe Ablagerung)
F4 Perfluorpolyether für Sonderapplikationen < 1 · 10-3 hPa Sauerstoff, Ozon, Halogene, organische und anorganische Lösungsmittel, HCl, BF3, HF für Pumpen < 20 m³ h-1
F5 für Pumpen > 20 m³ h-1
A113 Perfluorpolyether-Synthetiköl < 5 · 10-3 hPa Sauerstoff, Ozon, Halogene, organische und anorganische Lösungsmittel; hochbeständig gegen korrosive Gase, geeignet für Plasmaätzen
A119 Mehrzweck-Mineralöl ohne Additive, Universalöl für 60 Hz < 3 · 10-3 hPa Luft, nicht-korrosive Gase, Edelgase; niedrige Viskosität, dadurch gute Anlaufeigenschaften bei niedrigen Temperaturen
A121 Zweifach destilliertes mineralisches Synthetiköl mit Antioxidansadditiv < 3 · 10-3 hPa Zyklisches Pumpen auf Atmosphärendruck, für hohe Temperaturen und Drücke, beständig gegen saure und organische Dämpfe; nicht für Plasmaätzen geeignet
A102 Mineralöl mit Antiemulgieradditiv < 3 · 10-2 hPa Trennung Wasser/Öl (antiemulgierend), Trocknung und Pumpen von Wasserdampf, Gefriertrocknung
A111 Temperaturstabiles, mineralisches Synthetiköl < 1 · 10-2 hPa Gasumlauf und Rückführung; oxidationsempfindlich (für häufige Zyklen auf Atmosphärendruck nicht geeignet)
A200 Zweifach destilliertes Mineralöl ohne Additive < 2 · 10-3 hPa Beständig gegen korrosive Gase und gegen ionisierendes Plasma; geringe Rückströmung
A300 Mineralisches zweifach destilliertes Weißöl ohne Additive < 5 · 10-3 hPa Hochbeständig gegen korrosive Gase und gegen ionisierendes Plasma, beständig gegen Halogene und Lewis-Säuren; geringe Rückströmung

Tabelle 4.11: Ölsorten für Vorpumpen und Wälzkolbenpumpen

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