Vacuum Technology Book, Volume II

4.6.2 Anwendungshinweise

Vorteile der mehrstufigen Wälzkolbenpumpen in Korrosivgasausführung:

  • Optimale Anpassung an den jeweiligen Vakuumprozess durch einstellbare Temperatur, Spülgasdurchsatz und Drehzahl
  • Kein Schmiermittel im Bereich der Gasförderung
  • Keine Entsorgungsprobleme in Bezug auf das Betriebsmittel
  • Hohe Zuverlässigkeit und hohe Anlagenverfügbarkeit
  • Lange Serviceintervalle, geringe Leistungsaufnahme und geringer Medienverbrauch von Kühlwasser und Spülgas, dadurch niedrige Betriebskosten
  • Kleinste Stellfläche, dadurch gute Integration und Einsparungen bei Reinräumen und Pumpengeschossen
  • Umfangreiche Ansteuerungsmöglichkeiten, lokale oder Fernsteuerung, Integration in ein Überwachungsnetzwerk
  • Niedrigste Leckagerate
  • Ideale Vorpumpe für Turbo- und Wälzkolbenpumpen in korrosiven Prozessen
  • Zertifiziert nach UL/CSA und SEMI S2

Stäube und Partikel

Die Prozesspumpen sind Partikeln ausgesetzt, die aus Prozesskammern und Vorvakuumleitungen zur Pumpe transportiert werden. Zusätzlich müssen Partikel und Ablagerungen toleriert werden, die durch Kondensation von Reaktionsnebenprodukten in den Pumpen selbst entstehen können. Im Idealfall wird die Bildung von Partikeln und Ablagerungen durch geregelte Heizung und kontrollierten Temperaturverlauf in den Pumpen vermieden. Durch vertikale Pumprichtung fallen eventuelle Partikel immer aus der Pumpstufe heraus und verbleiben im Transportkanal zur nächsten Stufe. Nach der nächsten Belüftung und dem folgenden Abpumpen werden die Partikel durch das geförderte Gas in die jeweils nächste Stufe transportiert. Durch diesen Transportmechanismus werden mehr als 98 % der erzeugten Partikel vom Einlass zum Auslass transportiert. Damit kann am Auslass der Pumpe ein Abgasreinigungssystem zentral eingesetzt werden. Hier werden dann nicht nur Prozess-chemikalien, sondern auch Partikel aufgefangen und einer Entsorgung zugeführt. Einlassseitige Fallen und Filter werden als wartungsintensive Komponenten einer Vakuumlösung für korrosive, toxische und kondensierbare Medien vermieden, wann immer es möglich ist.

Korrosive Gase

Die mehrstufigen Wälzkolbenpumpen der P- und H-Serien sind explizit für Korrosivgasprozesse der Halbleiter-, Solar- und Beschichtungstechnik für Flachbildschirme entwickelt worden. Sowohl die metallischen Rotoren und Statoren als auch die Elastomermaterialien der Pumpen sind aus hochkorrosionsbeständigen Materialien gefertigt.

Leckagerate

Die hohe Dichtheit und der Schutz vor zurückdiffundierenden Gasen aus der Umgebungsluft oder einem Abgasreinigungssystem bzw. Wäscher durch ein Rückschlagventil machen die mehrstufige Wälzkolbenpumpe zur perfekten Lösung für Korrosivgasanwendungen. Zum Dichtheitskonzept tragen gekapselte Motoren bei.

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