Vacuum Technology Book, Volume II

4.6.4 Prozesschemie

In beschichtenden Prozessen, speziell in der Produktion von Halbleitern, Flachbildschirmen und in der Solar-industrie, spielt, wie in der Einleitung zu diesem Kapitel aufgezeigt, die Korrosivgasbeständigkeit von Vakuumpumpen eine große Rolle. Neben der Prozesstauglichkeit sind vor allem geringer Platzbedarf und niedrige Betriebskosten wichtige Pumpenparameter. Die P-Serie kommt diesen Forderungen durch um bis zu 53 % niedrigere Leistungsaufnahme im Vergleich zur Vorgängerversion sowie um deutlich reduzierte und innerhalb der Serie gleiche Stellfläche nach.

Grundlage dieser Pumpenserie ist der Prozesstrocken-läufer A 103 P, der in zwei weiteren Modellen der Serie mit Wälzkolbenpumpen für erhöhtes Saugvermögen und Gasdurchsatz im Prozessdruckbereich ergänzt wird. Durch das sechsstufige Design der A 103 P und einen energieeffizienten Motor wird die Leistungsaufnahme niedrig gehalten. Der sechsstufige Aufbau der A 103 P reduziert die Differenzdrücke zwischen den einzelnen Stufen und damit die Leistungsaufnahme der Pumpe. Neben der sechsten Stufe erlauben die groß dimensionierte Einlassstufe und die hohe Drehzahl hohes Saugvermögen und niedrigen Enddruck.

Die Platzierung des auslassseitigen Schalldämpfers direkt an den Pumpenblock führt zu einem kompakten Aufbau der Pumpe und Energieeinsparung durch direkte Beheizung des Schalldämpfers über den Pumpenblock ohne zusätzlichen Heizmantel. Die temperaturgeregelte und permanent überwachte Heizung der gesamten Pumpe ist zur Vermeidung der Kondensation von Reaktions-nebenprodukten erforderlich.

Neben dem niedrigen Kühlwasserverbrauch der P-Serie sorgt eine Standby-Option für reduzierten Spülgas- verbrauch der Pumpe außerhalb des Prozessbetriebs und damit für Einsparung von Betriebskosten.

Umfassende Optionen zur Ansteuerung und Kontrolle erlauben neben dem Betrieb über eine manuelle Steuerung auch die Kontrolle über eine Anlagensteuerung sowie die Einbindung in ein Überwachungsnetzwerk. Wichtige Betriebsparameter können direkt abgelesen und zur statistischen Auswertung exportiert werden.

Die P-Reihe ist normenkonform nach CE und SEMI S2.

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