Vacuum Technology Book, Volume II

4.6.3 Schleusen und nicht-korrosive Gase

Die ACP 120 bietet den Einstieg in die wassergekühlten mehrstufigen Wälzkolbenpumpen. Die Pumpen der ACP-Reihe eignen sich nicht für das Abpumpen von großen Mengen korrosiver Gase. Mit der ACP 120 G können zumindest Spuren korrosiver Gase gefördert werden. Dazu wird Inertgasspülung eingesetzt, bei der die Lager durch einen Inertgasvorhang geschützt und Prozessgase durch Inertgaseinlass in den Pumpstufen verdünnt werden.

Die ACP 120 ist entweder als Einzelpumpe oder in Kombination mit einer Wälzkolbenpumpe als Pumpstand ACG 600 eine für industrielle Anwendungen optimierte Pumplösung, die vom Design der Korrosivgasversionen für die Halbleiterindustrie profitiert. Die ACP/ACG- Pumpen sind durch abriebfreies Design optimal für saubere Prozesse geeignet. Sie erreichen eine hervorragende Langzeitstabilität und lange Wartungsintervalle.

ACP 120

Abbildung 4.12: ACP 120

Schleusenpumpen für die Halbleiterindustrie ist in ihren Typenbezeichnungen ein „L“ für „Loadlock“ angefügt. Sie sind im Gegensatz zur oben beschriebenen ACP 120 mit einem Gehäuse und einer Steuerung ausgestattet. Ein Frequenzumwandler sorgt für weltweit reproduzierbare Leistungsparameter unabhängig von Netzspannung und Netzfrequenz.

Die Pumpen der L-Serie sind mit einem Betriebsstundenzähler, Statusleuchten sowie einer Umschaltung zwischen lokalem und Fernsteuerbetrieb ausgerüstet.

Ein- und Auslassflansche sind an der Rückseite der Pumpe angebracht wie auch eine Ein-/Ausgabe-Schnittstelle, die die Anbindung an die Steuerung einer Halbleiter-Produktionsmaschine erlaubt. Optional ist eine serielle Schnittstelle erhältlich, über die die Pumpe z. B. in ein Überwachungsnetzwerk eingebunden werden kann. Anschlüsse für die Wasserkühlung sowie eine optionale Energiesparoption sind ebenfalls an der Rückseite der Pumpe angeordnet (siehe Abbildung 4.13).

Die optionale, in das Pumpengehäuse integrierte Energiesparoption (Energy Saving, ES) reduziert die Leistungsaufnahme der Pumpe um bis zu 50 %. Damit werden die Betriebskosten für den Betreiber deutlich gesenkt. Neben der Energieeinsparung kann die A 100 L ES einen Enddruck von 7 · 10-4 hPa erreichen. Zudem verringert sich der Geräuschpegel um 3 dB(A).

A 100 L Rückseite mit Anschlüssen

Abbildung 4.13: A 100 L Rückseite mit Anschlüssen

Durch das Freihalten der Pumpenoberfläche können die Aggregate auch gestapelt und damit der Platzbedarf in einer Halbleiterfabrik im Reinraum oder im Pumpen-geschoss minimiert werden. Mit ihrer Kombination aus geringster Stellfläche, Stapelbarkeit, hohem Saugver-mögen bereits ab Atmosphärendruck, Energiesparoption, niedrigem Enddruck sowie hoher Zuverlässigkeit und Langzeitstabilität ist die L-Serie die optimale Lösung für alle Schleusenprozesse.

Der niedrige Enddruck und der reduzierte Geräuschpegel machen sie auch für Anwendungen in Analytik und F&E interessant.

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