Vacuum Technology Book, Volume II

4.3.2 Anwendungshinweise

Aufgrund ihres kohlenwasserstofffreien Schöpfraums sind Membranpumpen besonders gut als trockene Vorpumpen für Turbomolekularpumpen mit Holweckstufe geeignet. Schon zweistufige Membranpumpen, die etwa 5 hPa Enddruck erreichen, kann man als Vorpumpen für Holweckturbopumpen verwenden. Das saubere Vakuum wird besonders bei Analytik- und F&E-Anwendungen geschätzt. Auch Membranpumpen fördern ohne Gasballast keinen Wasserdampf. Selbst die geringen Mengen von Wasserdampf, die von den Wänden einer Hochvakuumapparatur desorbieren, können den Enddruck einer Membranpumpe drastisch ansteigen lassen. Einige Membranpumpen sind jedoch nach einem patentierten Verfahren mit einem Gasballastventil ausgerüstet. Dazu lässt man bei zweistufigen Membranpumpen Gas in den Verbindungskanal zwischen erster und zweiter Stufe ein und verbindet diesen über eine kleine Bohrung mit dem Schöpfraum der ersten Stufe.

Membranpumpen
Typenbezeichnung Saugvermögen Enddruck Einsatzbereiche / Anwendungsgebiete
MVP 003-2 0,25 m³ · h-1 ≤ 7,0 hPa Kleine Turbopumpstände (ideal mit HiPace 10 und HiPace 80), mobile Analysegeräte, Regenerierung Helium-Lecksucher MiniTest
MVP 006-4 0,25 m³ · h-1 ≤ 2,0 hPa Kleine Turbopumpstände (ideal mit HiPace 10 und HiPace 80), mobile Analysegeräte
MVP 015-2 0,5 m³ · h-1 ≤ 3,5 hPa Turbopumpstände, Lecksucher, Forschungslabors, Analytik, Chemie
MVP 015-4 0,5 m³ · h-1 ≤ 0,5 hPa
MVP 030-3 1,8 m³ · h-1 ≤ 2,5 hPa
MVP 040-2 2,3 m³ · h-1 ≤ 4,0 hPa
MVP 070-3 3,8 m³ · h-1 ≤ 1,0 hPa
MVP 070-3 C 3,4 m³ · h-1 ≤ 1,5 hPa Korrosivgasanwendungen, bei denen ein kohlenwasserstofffreies Vakuum benötigt wird

Tabelle 4.12: Kenndaten von Membranpumpen

Fallen größere Mengen an Feuchtigkeit an und benutzt man Membranpumpen ohne Gasballast, müssen geeignete Abscheider bzw. Kühlfallen vorgeschaltet werden, um eine stärkere Kondensatbildung in der Pumpe zu verhindern. Trotzdem wird sich der Enddruck erhöhen.

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