Pfeiffer Vacuum

4.1.8 Sperrgas

Beim Pumpen von korrosivem Prozessgas besteht die Gefahr, dass dieses Teile der Pumpe angreift. Um dieser Gefahr zu begegnen, müssen empfindliche Teile durch einen kontinuierlichen Inertgasstrom geschützt werden. Zu diesem Zweck wird ein spezielles Gaseinlasssystem in die Pumpen eingebaut, durch das Gas an definierten Stellen in das Pumpsystem strömt. Bei Turbomolekularpumpen müssen vor allem die Lager und der Motorraum geschützt werden. Der Einlass von Sperrgas in den Motorraum schützt dabei sowohl vor chemischen Reaktionen aggressiver Gase mit nicht korrosionsfesten Bestandteilen des Schmiermittels oder der Lager als auch vor dem Eindringen von Stäuben und Partikeln in den Schmiermittelraum und damit der Vermengung mit dem Schmiermittel. Auch bei schmiermittelfreien Turbopumpen empfiehlt sich der Einsatz von Sperrgas zum Schutz der Motoren und der Verhinderung des Partikeleintrags, was z. B. zu einem Kontakt zwischen Welle und Notlagern führen könnte.

Bei prozesstauglichen ölfreien Vorpumpen wird zusätzlich zum Sperrgas für die Lager noch Spülgas in einzelne Stufen der Prozesspumpe eingeblasen. Über Druckregler vor kalibrierten Düsen oder über Durchflussregler (MFC = Mass Flow Controller) wird der prozessabhängige Spülgasdurchfluss eingestellt und über Druckmessfühler und -schalter sowie Durchflussmesser kontinuierlich überwacht.

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