Pfeiffer Vacuum

4.9.3.2 Aktiv magnetgelagerte Turbopumpen

Die Tabelle 4.22 enthält die Kenndaten der Turbopumpen mit aktiver Magnetlagerung.

Es gibt auch bei diesen Pumpen:

  • HiPace® M mit ISO-K- oder ISO-F-Flanschen: Turbodragpumpen mit Holweckstufen zur Hochvakuumerzeugung für Standardanwendungen
  • HiPace® M mit CF-Flanschen: Turbodragpumpen mit Holweckstufen, ausheizbar, zur Ultrahochvakuumerzeugung
  • ATP M: klassische Turbopumpen ohne Holweckstufe mit hohem Kompressionsverhältnis für leichte Gase und hoher Partikelverträglichkeit
  • ATH M und MT: Turbodragpumpen mit Holweckstufen, Sperrgassystem und Heizung für Korrosivgasanwendungen
Magnetgelagerte Turbopumpe ATH M

Abbildung 4.30: Magnetgelagerte Turbopumpe ATH M

Magnetgelagerte Turbopumpen
Typenbezeichnung Saugvermögen Kompressions- verhältnis Gasdurchsatz* Anwendungsgebiete
HiPace 300 M 255 l · s-1 > 1 · 1011 28 hPa · l · s-1 Analytik, Beschichtung, F&E
ATH 500 M / MT 520 l · s-1 > 2 · 107 67 hPa · l · s-1 Halbleiter, Beschichtung, F&E
HiPace 700 M 685 l · s-1 > 1 · 1011 13 hPa · l · s-1 Analytik, Beschichtung, F&E
HiPace 800 M 790 l · s-1 > 1 · 1011 13 hPa · l · s-1
ATH 1603 M 1.370 l · s-1 > 6 · 108 67 hPa · l · s-1 Halbleiter, Beschichtung, F&E: Glasbeschichtung, Solarzellenfertigung, Oberflächenveredlung, CVD, Trockenätzen, PVD/Sputtern, Ionenimplantation, Plasmaphysik
ATH 1600 MT 1.370 l · s-1 > 5 · 108 67 hPa · l · s-1
ATH 2303 M 1.950 l · s-1 > 1 · 108 67 hPa · l · s-1
ATH 2300 MT 1.950 l · s-1 > 1 · 108 67 hPa · l · s-1
ATP 2300 M 1.850 l · s-1 > 1 · 108 37 hPa · l · s-1
ATH 2800 M 2.150 l · s-1 > 1 · 108 84 hPa · l · s-1
ATH 2800 MT 2.150 l · s-1 > 1 · 108 84 hPa · l · s-1
ATH 3200 M 2.700 l · s-1 > 1 · 108 84 hPa · l · s-1
ATH 3200 MT 2.700 l · s-1 > 1 · 108 84 hPa · l · s-1

* Der Gasdurchsatz ist abhängig vom Antriebsgerät.
Tabelle 4.22: Kenndaten magnetgelagerter Turbopumpen für Stickstoff

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