Pfeiffer Vacuum

4.9.3.3 Antriebsgeräte und Zubehör

Zum Betrieb der Turbopumpen stehen für unterschiedliche Anwendungen vielfältige Bedienungs-, Anzeige- und Antriebsgeräte sowie umfangreiches Zubehör zur Verfügung.

Die im folgenden Text verwendete Nummerierung bezieht sich auf Abbildung 4.31.

Die Turbopumpen (1a) sind in der Regel mit einem angebauten Antriebsgerät versehen (1b), die Gleichspannungsspeisung erfolgt beispielsweise über ein Einschubnetzteil (2a) mit Bedien- und Anzeigegerät (2b). Daneben stehen auch Einbaunetzteile zur Verfügung. Mit einem USB-Konverter (5b) kann man auch einen PC (5a) an die Schnittstelle RS-485 anschließen und Programmier- sowie Schaltfunktionen ausführen sowie Statusanzeigen übertragen. Profibus-DP- und DeviceNet-Konverter ermöglichen die Einbindung der Pumpen in Anlagensteuerungen. Die wichtigsten Schaltfunktionen können auch über einen Fernbedienungsstecker durch externe Signale erfolgen, daneben können einige Statusanzeigen über Relaisausgänge abgenommen werden.

Neben den Betriebsgeräten stehen auch unterschiedliche Zubehörteile für besondere Einsatzzwecke zur Verfügung.

An einige Netzgeräte DCU kann man eine Vakuummessröhre anschließen und so neben den Informationen über die Turbopumpe auch den Druck anzeigen.

Mithilfe der Relaisbox „Vorpumpe“ (6) verwandelt sich das Netzteil DCU (2a) in eine Pumpstandsteuerung, mit der Turbopumpe (1a) und Vorpumpe gleichzeitig eingeschaltet werden können.

Zur Pumpenkühlung können wahlweise ein Ventilator (4) oder bei hoher Gaslast eine Wasserkühlung (3) angebaut werden.

Zubehör für Turbopumpen am Beispiel der HiPace 300

Abbildung 4.31: Zubehör für Turbopumpen am Beispiel der HiPace 300

Ein elektrisches Flutventil (8) belüftet die Turbopumpe beim Unterschreiten einer bestimmten Drehzahl. Bei kurzzeitigem Stromausfall bleibt das Flutventil geschlossen und das Vakuum erhalten. Der Pumpstand startet sofort wieder bei Wiederkehr der Netzspannung. Voraussetzung ist allerdings eine Vorpumpe mit Sicherheitsventil, das bei Stromausfall automatisch schließt.

Für UHV-Anwendungen kann eine Heizung (9) an die Pumpe angeschlossen werden, die nach Vorwahl und Erreichen einer bestimmten Drehzahl automatisch eingeschaltet und bei Drehzahlabfall ausgeschaltet wird.

Für Korrosivgaspumpen sind elektromagnetische Sperrgasventile (7b) mit angepassten Durchsätzen sowie Sperrgasdrosseln (7a) für Pumpen verschiedener Baugrößen lieferbar.

Weitere Details siehe Produktkatalog 3.1 Turbopumpen.

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