Pfeiffer Vacuum

4.9.3.1 Mechanisch gelagerte Turbopumpen

Bei den mechanisch gelagerten Turbopumpen HiPace® mit ölgeschmiertem Kugellager auf der Vorvakuumseite und Permanentmagnetlager auf der Hochvakuumseite unterscheidet man folgende Baureihen:

  • HiPace® mit ISO-K-Flanschen: Turbodragpumpen mit Holweckstufen zur Hochvakuumerzeugung für Standardanwendungen
  • HiPace® mit CF-Flanschen: Turbodragpumpen mit Holweckstufen, ausheizbar, zur Ultrahochvakuumerzeugung
  • HiPace® Plus: Turbodragpumpen mit Holweckstufen mit reduziertem Magnetstreufeld und extra niedrigem Vibrationspegel
  • HiPace® P: klassische Turbopumpen für Anwendungen mit Staubanfall
  • HiPace® C: klassische Turbopumpen mit Beschichtung und Sperrgassystem für Korrosivgasanwendungen
Standard-Turbopumpe HiPace

Abbildung 4.29: Standard-Turbopumpe HiPace

Die Tabelle 4.21 enthält die Kenndaten der Standardpumpen mit Hybridlagerung. Alle anderen Baureihen sind Modifikationen dieser Standardmodelle und haben im Wesentlichen die gleichen Kenndaten.

Turbomolekularpumpen HiPace
Typenbezeichnung Saugvermögen Kompressions- verhältnis Gasdurchsatz* Anwendungsgebiete
HiPace 10 11,5 l · s-1  3,0 · 107 0,37 hPa · l · s-1 Analytik, Lecksucher, Gasführungssysteme, Lampen- und Röhrenfertigung
SplitFlow 50 53 l · s-1 >1,0 · 108 1,8 hPa · l · s-1
HiPace 60 P 64 l · s-1 >1,0 · 106 9,2 hPa · l · s-1
HiPace 80 67 l · s-1 >1,0 · 1011 1,3 hPa · l · s-1 Analytik, Forschung & Entwicklung; Beschichtung, Halbleiterfertigung
HiPace 300 260 l · s-1 >1,0 · 1011 5,0 hPa · l · s-1
HiPace 400 355 l · s-1 >1,0 · 1011 6,5 hPa · l · s-1
HiPace 700 685 l · s-1 >1,0 · 1011 6,5 hPa · l · s-1
HiPace 800 790 l · s-1 >1,0 · 1011 6,5 hPa · l · s-1
HiPace 1200 1.250 l · s-1 >1,0 · 108 20 hPa · l · s-1 Glasbeschichtung, Solarzellenfertigung, Oberflächenveredlung, CVD, PVD/Sputtern, Ionenimplantation, Plasmaphysik, Weltraumsimulation
HiPace 1500 1.450 l · s-1 >1,0 · 108 20 hPa · l · s-1
HiPace 1800 1.450 l · s-1 >1,0 · 108 20 hPa · l · s-1
HiPace 2300 1.900 l · s-1 >1,0 · 108 20 hPa · l · s-1


*) Der Gasdurchsatz ist abhängig vom Antriebsgerät. Tabelle 4.21: Ausgewählte Kenndaten HiPace® für Stickstoff

Die Basisdrücke der Standardpumpen mit ISO-K- Flanschen sind: $p_b$ < 1 · 10-7 hPa. Mit den Pumpen mit CF-Flanschen erreicht man nach Ausheizen Basisdrücke $p_b$ < 5 · 10-10 hPa.

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