Vacuum Technology Book, Volume II

4.7.3.2 Standardpumpen mit Magnetkupplung

Die M-Reihe ist für Prozesse einsetzbar, die höchste Ansprüche an Dichtheit und längste Serviceintervalle stellen. Sie entspricht weitestgehend der Standard-Reihe, zeichnet sich jedoch zusätzlich durch eine hermetisch dichte Magnetkupplung anstelle von Radialwellendicht-ringen aus. Sie arbeitet somit praktisch verschleißfrei. Die integrale Leckrate der Pumpe ist kleiner als 1 · 10-6 Pa · m3 · s-1. Ölaustritt kann somit ausgeschlossen werden und es findet auch kein Austausch zwischen Prozessgas und Umgebung statt. Standardpumpen der M-Reihe sind für alle in Tabelle 4.19 angegebenen Anwendungen geeignet, darüber hinaus aber auch einsetzbar in der Industrie / Chemie zum Pumpen toxischer Gase sowie bei Reinstgasanwendungen: z. B. für CVD- und PVD-Prozesse in der Beschichtung, zum Evakuieren von Schleusen- oder Transferkammern und bei der Herstellung von Flachbildschirmen. Erhältlich ist die M-Reihe in den Größen 250 m3 · h-1 bis 6.000 m3 · h-1.

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