Pfeiffer Vacuum

5.2 Anwendungshinweise

Bei Auswahl, Einbau und Betrieb von Vakuummetern sind deren Eigenschaften und die Besonderheiten der Vakuummessung zu beachten.

  • In Vakuumrezipienten können Druckgradienten auftreten, daher ist der Einbauort mit Bedacht zu wählen.
  • Oberflächen und Dichtmaterialien weisen eine Ausgasung auf. Das Vakuummeter kann daher einen gegenüber dem Druck in der Vakuumkammer höheren Druck messen. Die Anschlussflansche sollten daher möglichst kurz und die Zahl der Dichtungen minimiert sein.
  • Ionisationsvakuummeter können eine Pumpwirkung besitzen und dadurch einen niedrigeren Druck ausweisen als dem tatsächlichen Druck der Vakuumkammer entspricht.
  • Kaltkathodenvakuummeter besitzen eine Eigensputterwirkung, die besonders ausgeprägt ist beim Betrieb mit schweren Gasen (z. B. Argon) im Feinvakuumbereich. Dies kann zu instabilen und ungenauen Messwerten führen.
  • In Anwesenheit von Kohlenwasserstoffen verschmutzen Ionisationsvakuummeter durch Abbauprodukte der organischen Moleküle. Wie beim Sputtereffekt kann dadurch der Messwert verfälscht oder instabil werden.
  • Die Einschaltpunkte für Ionisationsvakuummeter sind so zu wählen, dass eine Verschmutzung infolge der vorstehenden Phänomene weitgehend verhindert wird.
  • Starke Magnetfelder und elektrische Felder können die Funktion von Vakuummetern beeinträchtigen. Dies gilt insbesondere für Ionisationsvakuummeter.
  • Um Ultrahochvakuum zu erreichen, muss die Vakuum-apparatur ausgeheizt werden, einschließlich der Messröhren. Dabei sind die maximalen Ausheiztemperaturen und die in den technischen Daten genannten Bedingungen zu beachten.

Bei Verschmutzung können Kaltkathodenvakuummeter leicht demontiert und gereinigt werden. Bei anderen Messprinzipien ist meist ein Austausch des Sensors möglich. Generell ist zu beachten, dass Vakuummeter einem gewissen Verschleiß durch Abnutzung und Verschmutzung unterliegen und daher von Zeit zu Zeit ausgetauscht werden sollten. Die große Breite der Einsatzbedingungen lässt es dabei leider nicht zu, eine generelle Empfehlung für das Austauschintervall zu geben.

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