Pfeiffer Vacuum

5.2.1 Messbereiche

Im Druckbereich von 1.000 hPa – 1 hPa benutzt man gelegentlich rein mechanische Zeigervakuummeter (Druckfeder- oder Bourdonrohr-Manometer), die jedoch nur eine beschränkte Genauigkeit aufweisen und nur direkt am Einbauort abgelesen werden können. Für genauere Messungen und Fernanzeige verwendet man elektrische Membranvakuummeter (Piezo-Sensoren oder kapazitive Sensoren).

Zwischen 10 hPa und 10-4 hPa werden Pirani-Wärmeleitungsvakuummeter eingesetzt. Man kann schon bei Drücken $p$ < 10-2 hPa spezielle „Hochdruck“-Heißkathoden-Ionisationsvakuummeter anwenden.

Bei Drücken unter 10-3 hPa verwendet man entweder Kaltkathoden-Ionisationsvakuummeter oder bei sauberen Bedingungen und hohen Anforderungen an die Messgenauigkeit Ionisationsvakuummeter nach Bayard-Alpert. Sinnvoll ist immer die Kombination von zwei oder mehr Sensoren, die den gesamten genutzten Druckbereich abdeckt.

Druckmessbereiche und Messprinzipien

Abbildung 5.8: Druckmessbereiche und Messprinzipien

Mit Membran- und Pirani-Vakuummetern erzeugt man Druckschaltpunkte, um Ionisationsvakuummeter erst bei ausreichend niedrigem Druck einzuschalten und diese so vor Verschmutzung oder Durchbrennen der beheizten Kathode zu schützen. Es werden deshalb auch Kombinationssensoren mit automatischer Umschaltung angeboten, die weiter unten beschrieben werden.

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