Pfeiffer Vacuum

5.3.2 ActiveLine

Die Familie der ActiveLine umfasst drei Steuergeräte und acht aktive Messröhren mit analogem Spannungsausgang 0 – 10 Volt. Alle Transmitter verfügen über den gleichen Steckverbinder und können daher mit demselben Messkabel an den Steuergeräten betrieben werden. Messkabel in Standardlängen von 1 m bis 50 m sind verfügbar.

Die aktiven Piezo-Messröhren APR decken mit sechs Typen fünf Messbereiche von 5,5 MPa (55 bar) bis 10 Pa (0,1 mbar) ab.

Die kapazitiven Membran-Vakuummeter CMR gibt es sowohl als temperaturkompensierte als auch als temperaturgeregelte Variante in jeweils fünf Bereichen von 1100 hPa – 10-5 hPa. Mit den verschieden Nennwerten (Full Scale = F.S.) ergeben sich folgende Abstufungen:

  • 1.000 hPa F.S. Druckbereich 1.100 bis 10-1 hPa
  • 100 hPa F.S. Druckbereich 110 bis 10-2 hPa
  • 10 hPa F.S. Druckbereich 11 bis 10-3 hPa
  • 1 hPa F.S. Druckbereich 1,1 bis 10-4 hPa
  • 0,1 hPa F.S. Druckbereich 0,11 bis 10-5 hPa

Diese Transmitter von Pfeiffer Vacuum mit Keramiktechnologie haben sich in vielen, insbesondere auch korrosiven Anwendungen bewährt.

Speziell für den Einsatz in der Mikrotechnologie mit den dort gebräuchlichen Einheiten Torr und mTorr werden die kapazitiven Membran-Vakuummeter CCR mit Nennwerten in Torr angeboten:

  • 1.000 Torr F.S. Druckbereich 1.332 bis 10-1 hPa
  • 100 Torr F.S. Druckbereich 133 bis 10-2 hPa
  • 10 Torr F.S. Druckbereich 13,3 bis 10-3 hPa
  • 1 Torr F.S. Druckbereich 1,33 bis 10-4 hPa
  • 0,1 Torr F.S. Druckbereich 0,13 bis 10-5 hPa

Die CCR Baureihe besitzt D-Sub Steckverbinder und ist bezüglich der Versorgungs- und Ausgangsspannungen mit anderen marktüblichen kapazitiven Transmittern kompatibel. Durch diese Besonderheiten können sie jedoch nicht mit den ActiveLine Steuergeräten betrieben werden.

Zwei aktive Pirani-Messröhren TPR für den Feinvakuumbereich 1.000 hPa bis 5 · 10-5 hPa und drei aktive Kaltkathodenmessröhren IKR mit Messbereichen von 10-2 bis 5 · 10-11 hPa runden die Modellpalette der ActiveLine Transmitter mit Einzelsensor ab.

Die Pirani-Transmitter TPR können auch an Pumpstandsteuergeräte DCU von Turbopumpständen angeschlossen werden und ermöglichen so ohne zusätzliches Steuergerät eine Druckanzeige.

Im Sensor der aktiven Heißkathoden-Messröhre IMR 265 sind die Elektroden (Anode, Kathode, Kollektor) mit sehr kleinen Abständen zueinander aufgebaut. So hat man schon bei Drücken $p$ < 10-2 hPa Molekularströmung und kann dort Ionenströme messen. Ein weiterer Vorteil liegt in der im Vergleich zum Bayard-Alpert-Aufbau geringeren Verschmutzungsempfindlichkeit dieses Transmitters, der daher sehr gut für die Steuerung von Vakuumprozessen geeignet ist, die vorwiegend im unteren Feinvakuumbereich ablaufen.

Die folgenden aktiven Messröhren mit Kombisensoren stehen zur Verfügung:

  • Kapazitiver Membran/Pirani-Transmitter PCR 280 für den Druckbereich von 1.500 bis 5 · 10-4 hPa; eine Verbindung des effizienten Pirani-Sensors mit einem im Grobvakuum akkuraten Membransensors
  • Pirani/Kaltkathoden-Transmitter PKR 251 und 261 für den Druckbereich 1.000 bis 5 · 10-9 hPa; die ideale Kombination robuster Sensoren für eine breite Palette von Vakuumanwendungen
  • Pirani/Bayard-Alpert-Transmitter PBR 260 für den Druckbereich von 1.000 bis 5 · 10-10 hPa; die bestmögliche Druckmessung im Hoch- und Ultrahochvakuumbereich verbunden mit der Sicherheit der Glühkathode durch den Pirani-Sensor

Die Transmitter der ActiveLine bieten folgende Vorteile:

Abdeckung des gesamten Vakuumbereichs

  • Drei Steuergeräte TPG 261, TPG 262 und TPG 256 A mit 1, 2 oder 6 Messkanälen für alle Anforderungsprofile
  • Steuergeräte mit automatischer Transmittererkennung vermeiden Installationsfehler
  • Jede Messröhre kann mit jedem Steuergerät betrieben werden
  • Leichte Verkabelung infolge des für alle Transmitter gleichen Standardkabels
Anwendungskonzepte ActiveLine

Abbildung 5.10: Anwendungskonzepte ActiveLine

Seite: