Pfeiffer Vacuum

Formelverzeichnis

1 Einführung in die Vakuumtechnik

Formel 1-1
Barometrische Höhenformel
Formel 1-2
Barometrische Höhenformel, numerisch
Formel 1-3
Druckdefinition
Formel 1-4
Boyle-Mariotte’sches Gesetz
Formel 1-5
Gay-Lussac’sches Gesetz
Formel 1-6
Allgemeine Zustandsgleichung für ideale Gase
Formel 1-7
Zustandsgleichung für ideale Gase I
Formel 1-8
Zustandsgleichung für ideale Gase II
Formel 1-9
Wahrscheinlichste Geschwindigkeit
Formel 1-10
Mittlere Geschwindigkeit
Formel 1-11
Mittlere freie Weglänge
Formel 1-12
Mittlere freie Weglänge II
Formel 1-13
Knudsenzahl
Formel 1-14
Reynolds-Zahl
Formel 1-15
pV-Durchfluss
Formel 1-16
Saugleistung einer Vakuumpumpe
Formel 1-17
Saugvermögen einer Vakuumpumpe
Formel 1-18
Definition Leitwert
Formel 1-19
Ohm’sches Gesetz
Formel 1-20
Parallelschaltung Leitwerte
Formel 1-21
Reihenschaltung Leitwerte
Formel 1-22
Verblockung einer Blende
Formel 1-23
Blendendurchfluss
Formel 1-24
Blendenleitwert
Formel 1-25
Blendenleitwert für Luft
Formel 1-26
Leitwert Rohr laminar
Formel 1-27
Leitwert Rohr laminar für Luft
Formel 1-28
Rohr molekular
Formel 1-29
Durchtrittswahrscheinlichkeit für lange runde Rohre
Formel 1-30
Leitwert Rohr molekular
Formel 1-31
Leitwert Rohr molekular
Formel 1-32
Desorptionsstrom
Formel 1-33
Desorptionsstrom aus Kunststoffen
Formel 1-34
Permeation
Formel 1-35
Leckrate
Formel 1-36
Enddruck als Funktion der Zeit

2 Auslegung

Formel 2-1
Gaslast Wälzkolbenpumpe
Formel 2-2
Kompressionsverhältnis Wälzkolbenpumpe
Formel 2-3
Kompressionsverhältnis Wälzkolbenpumpe laminar
Formel 2-4
Kompressionsverhältnis Wälzkolbenpumpe molekular
Formel 2-5
Saugvermögen Wälzkolbenpumpstand bei geöffnetem Überströmventil und hohem Vorvakuumdruck
Formel 2-6
Saugvermögen Wälzkolbenpumpstand bei geöffnetem Überströmventil und hohem Vorvakuumdruck
Formel 2-7
Saugvermögen Wälzkolbenpumpstand bei hohem Ansaugdruck
Formel 2-8
Saugvermögen Wälzkolbenpumpstand bei niedrigem Ansaugdruck
Formel 2-9
Auspumpzeit
Formel 2-10
Saugvermögensberechnung
Formel 2-11
Gasdurchsatz für das Abpumpen von Dämpfen
Formel 2-12
Berechnung Kondensationsfläche
Formel 2-13
Basisdruck eines Vakuumsystems
Formel 2-14
Diffusionskoeffizient (T)

4 Vakuumerzeugung

Formel 4-1
Kompressionsverhältnis
Formel 4-2
Gasstrom Pumpkombination
Formel 4-3
Rückströmleitwert
Formel 4-4
Reales Kompressionsverhältnis
Formel 4-5
Rekursionsformel Saugvermögen
Formel 4-6
Wasserdampfverträglichkeit
Formel 4-7
Wasserdampfkapazität
Formel 4-8
Kompressionsverhältnis Turbopumpe
Formel 4-9
Saugvermögen Turbopumpe
Formel 4-10
Effektives Saugvermögen Turbopumpe
Formel 4-11
Spezifisches Saugvermögen
Formel 4-12
Saugvermögen Holweckstufe
Formel 4-13
Kompressionsverhältnis Holweckstufe
Formel 4-14
Enddruck

6 Massenspektrometer und Restgasanalyse

Formel 6-1
kinetische Energie
Formel 6-2
Lorentzkraft
Formel 6-3
Kräftegleichheit
Formel 6-4
Bahnradius
Formel 6-5
Quadrupol-Ablenkspannung
Formel 6-6
Stabilitätsparameter a
Formel 6-7
Stabilitätsparameter q
Formel 6-8
Stabilitätsbedingung für U
Formel 6-9
Stabilitätsbedingung für V
Formel 6-10
Hochpassbedingung
Formel 6-11
HF-Leistung
Formel 6-12
Streuung
Formel 6-13
Ionenstrom

8 Lösungen zum Kontaminationsmanagement

Formel 8-1
Oberflächenabdeckung
Formel 8-2
Dosis der Kontamination
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