Beschichtungsanlagen auf Dichtheit prüfen

 

Nach der Installation einer neuen Anlage oder der Wartung an einer bestehenden treten nicht selten Leckagen auf. Ursache hierfür sind oft Fügefehler oder vergessene bzw. defekte Dichtungen. Um diese Leckagen zu finden und Anlagen auf Dichtheit zu prüfen, ist der korrekte Umgang mit Helium-Lecksuchgeräten von entscheidender Bedeutung. Je mehr über die der Dichtheitsprüfung zugrundeliegenden physikalischen Phänomene sowie über die Optimierungsmöglichkeiten bei der Durchführung bekannt ist, umso einfacher ist der Einsatz von Helium-Lecksuchern in der Praxis und umso zuverlässiger sind die Messergebnisse. Der folgende Überblick gibt anhand von Anwendungsbeispielen praktische Hinweise zum richtigen Umgang mit Helium-Lecksuchern und zur erfolgreichen Durchführung von Dichtheitsprüfungen an Vakuumanlagen.

Was ist beim Anschließen des Lecksuchers an eine Beschichtungsanlage zu beachten?

Leckagen, die nach der Inbetriebnahme oder Wartung von Vakuumanlagen auftreten, sind oftmals sehr groß. Ab einer bestimmten Leckgröße können marktübliche Helium-Lecksucher jedoch nicht mehr verwendet werden. Ihr maximaler Arbeitsdruck liegt in der Regel zwischen etwa 6 und 25 mbar. Liegen große Leckagen vor, kann dieser Druck unter Umständen beim Evakuieren nicht erreicht werden. Abbildung 1 zeigt eine Si3N4-Beschichtungsanlage. Nach einer Wartung wird beim Evakuieren lediglich ein Druck von 80 mbar erreicht.

Einbindung des Helium-Lecksuchers in eine Beschichtungsanlage
Einbindung des Helium-Lecksuchers in eine Beschichtungsanlage

Statt der Drosselung eines Vakuumlecksuchers kann beim Lecksuchgerät ASM 340 von Pfeiffer Vacuum ein qualitativer Massiv-Lecksuchmodus eingesetzt werden, mit dessen Hilfe das vorliegende Leck lokalisiert werden kann.

Prozesspumpe zur Unterstützung des Lecksuchers

Optimalerweise sollte der Lecksucher, wie in Abbildung 1 und 2 gezeigt, in der Vorvakuumleitung einer Vakuumanlage angeschlossen werden. Um zu verhindern, dass die beim Abpumpen entstehende Kompressionswärme den für Einsätze in sauberen Umgebungen konzipierten Lecksucher thermisch stark belastet, kann außerdem eine zusätzliche Prozesspumpe eingesetzt werden. Diese ist gegen die thermische Belastung unempfindlich und pumpt zudem auch sämtliche Ausgasungen, Dämpfe und möglicherweise aufgewirbelte Partikel ab.

Die Verwendung einer zusätzlichen Prozesspumpe kann so die Verfügbarkeit des Lecksuchers steigern und seine Wartungsintervalle signifikant verlängern. Daraus resultieren deutlich verringerte Betriebskosten.

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