Anlagen und Wartung

Jedes einzelne Leck an einem Halbleiteranlage und den zugehörigen Einrichtungen kann sich negativ auf den Durchsatz und die Ausbeute in der Herstellung auswirken. Die Folgen reichen von Produktionsausfällen aufgrund nicht erfüllter Prozessspezifikationen bis hin zu kritischen Sicherheitsrisikos. Daher ist die Lecksuche bei der Inbetriebnahme einer neuen Anlage im Reinraum und nach jedem Wartungseingriff ein kritischer und zwingend erforderlicher Schritt. Im Untergeschoss werden außerdem regelmäßig Zuleitungen und Trockenpumpen zu Reinigungs- oder Reparaturzwecken ausgetauscht. Wir bieten umfassende Lösungen für die Lecksuche, die die Vakuumintegrität Ihrer Anlage von den Prozesskammern bis hin zur Gasaufarbeitung garantieren. Unser Ziel ist die die Ertragsmaximierung Ihrer Produktion.

Anwendungen

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