CD-REM

Da die Produktion von Halbleiterbauelementen mit einer zunehmenden Anzahl von Schritten und kleineren kritischen Abmessungen des Bauelements immer komplexer wird, kommt der Waferprüfung und Messtechnik immer größere Bedeutung zu.

Applikationsanforderungen

  • Trockenes Primär- und Sekundärvakuum
  • Niedrige Geräusch- und Vibrationspegel
  • Hohe Leistung für hohen Durchsatz
  • Geringer Stromverbrauch, dadurch niedrige Betriebskosten

Wie funktioniert es?
CD-REMs werden für Messungen im nm-Bereich sowie zur Analyse von Materialarten verwendet. Bei dieser Technologie tastet der Elektronenstrahl den Wafer in einem Rastermuster ab. Zunächst erzeugt die Elektronenquelle jedoch am oberen Ende der Säule Elektronen, die dann von der positiv geladenen Anode beschleunigt und angezogen werden. Die gesamte Elektronensäule muss dabei unter Vakuum stehen. Wie alle Komponenten eines Elektronenmikroskops ist die Elektronenquelle in einer speziellen Kammer eingeschlossen, um das Vakuum zu erhalten und die Quelle vor Verunreinigungen, Vibrationen oder Geräusche zu schützen. Obwohl das Vakuum die Elektronenquelle vor Kontamination schützt, ermöglicht es dem Benutzer auch die Aufnahme eines hochauflösenden Bildes. Darüber hinaus erhöht das Hochvakuum die Sammeleffizienz von Elektronen durch die Detektoren, die sich in der Säule befinden.

Vakuumanforderungen
CD-REMs arbeiten im Niedervakuum, typischerweise im Druckbereich von 10-5 bis 10-7 mbar. Wegen des erforderlichen niedrigen Vibrationspegels werden hier häufig magnetgelagerte Turbopumpen eingesetzt. Das Vorvakuum erfordert trockene Pumpen mit kleinem Saugvermögen zur Unterstützung der Turbopumpen.

Produktportfolio
Unsere Turbopumpenreihe HiPace Plus ist die beste Lösung für Elektronenmikroskope. Der Vibrationspegel der HiPace Plus-Reihe liegt deutlich unter dem von Standard-Turbopumpen. Als Vorvakuumpumpe können wir verschiedene ölfreie Lösungen anbieten: Membranpumpen der MVP-Baureihe, mehrstufige Wälzkolbenpumpen der ACP-Reihe und unsere neu entwickelte HiScroll-Reihe. Weiterhin liefern wir eine breite Palette von Messgeräten für komplette Vakuumlösungen.

Hauptprodukte

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