Wafer-Transport

Die Herstellung eines Halbleiterelements ist ein sehr komplexer Prozess, der viele Schritte unter Vakuumbedingungen umfasst. Die Wafer werden in eine Halbleiteranlage ein- bzw. ausgeschleust, um den entsprechenden Vakuumbereich zu gewährleisten. Die Wafer werden von Prozesskammer A nach B durch Transfermodule bewegt, die ebenfalls unter Vakuum gehalten werden. Wir bieten Lösungen für Hochvakuum-Turbopumpen und trockene Vorvakuumpumpen an, welche speziell für Wafer-Handling-Anwendungen entwickelt und auf maximalen Durchsatz, sowie niedrigste Betriebskosten ausgelegt wurden.

Anwendungen

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