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Wartungsarbeiten

Am 15.07.2025 kann es zwischen 09:00 Uhr und 15:00 Uhr (MESZ) aufgrund von Wartungsarbeiten zu Störungen kommen. Vielen Dank für Ihr Verständnis.

Wafer-Transport

Wafer Handling

Die Herstellung eines Halbleiterelements ist ein sehr komplexer Prozess, der viele Schritte unter Vakuumbedingungen umfasst. Die Wafer werden in eine Halbleiteranlage ein- bzw. ausgeschleust, um den entsprechenden Vakuumbereich zu gewährleisten. Die Wafer werden von Prozesskammer A nach B durch Transfermodule bewegt, die ebenfalls unter Vakuum gehalten werden. Wir bieten Lösungen für Hochvakuum-Turbopumpen und trockene Vorvakuumpumpen an, welche speziell für Wafer-Handling-Anwendungen entwickelt und auf maximalen Durchsatz, sowie niedrigste Betriebskosten ausgelegt wurden.

Anwendungsberichte

In unseren Anwendungsberichten erfahren Sie mehr über die vielen Anwendungen, in denen unsere Vakuumlösungen von unseren Kunden eingesetzt werden!

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