UHV

Ein Ultrahochvakuum, kurz UHV, ist in vielen Versuchen der Grundlagenforschung von Wissenschaft und Technik unverzichtbar. Die Notwendigkeit eines UHV ergibt sich aus der Forderung nach hoher Reinheit, minimalen Wechselwirkungen mit Teilchen und der Abwesenheit anderer Verunreinigungen. Für diese und viele weitere Anforderungen sind Vakuumdrücke p < 10-5 Pa (p < 10-7 mbar) erforderlich. Angesichts der Notwendigkeit, diesen Druckbereich zu erreichen, ist ein ganzheitlicher Ansatz unentbehrlich. Das gesamte Vakuumsystem, bestehend aus einer Kammer, Pumpen, Messgeräten und Lecksucheinrichtungen, muss in geeigneter Weise konfiguriert und geplant werden.

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