SEM

Die Rasterelektronenmikroskopie (REM) ist ein Analyseverfahren, das in einem breiten Anwendungsspektrum eingesetzt wird. Wissenschaftler nutzen es, um mikroskopische Organismen oder kristalline Strukturen zu erforschen. REM wird auch in industriellen Prozessen eingesetzt, um die Oberflächenbeschaffenheit von Komponenten und Produkten zu untersuchen. Die Anwendungen reichen von der Halbleiterindustrie, Überwachung in der Lebensmittelindustrie, medizinischen Geräten und Mikroelektronik bis hin zur allgemeinen Produktionsüberwachung.

Applikationsanforderungen

  • Vibrationsarm
  • Hohe Zuverlässigkeit
  • Geringer Stromverbrauch

Wie funktioniert es?
Bei dieser Art Elektronenmikroskop tastet der Elektronenstrahl die Probe in einem Rastermuster ab. Zunächst werden durch die Elektronenquelle am oberen Ende der Säule Elektronen erzeugt. Diese werden abgegeben, wenn ihre thermische Energie die Austrittsarbeit des Ausgangsmaterials überwindet. Sie werden dann beschleunigt und von der positiv geladenen Anode angezogen. Die gesamte Elektronensäule muss unter Vakuum stehen. Wie alle Komponenten eines Elektronenmikroskops ist die Elektronenquelle in einer speziellen Kammer eingeschlossen, um das Vakuum zu erhalten und die Quelle vor Verunreinigungen, Vibrationen oder Lärm zu schützen. Das Vakuum schützt die Elektronenquelle vor Verunreinigung und ermöglicht dem Benutzer außerdem die Aufnahme hochauflösender Bilder. Ohne Vakuum könnten sich auch andere Atome und Moleküle in der Säule befinden. Deren Wechselwirkung mit Elektronen führt zu einer Ablenkung des Elektronenstrahls und verringert die Bildqualität. Darüber hinaus erhöht das Hochvakuum die Effizienz der Detektion von Elektronen durch die Detektoren, die sich in der Säule befinden.

Produktportfolio
Die HiPace Plus-Serie ist aufgrund des erforderlichen niedrigen Vibrationsniveaus die beste Lösung für Elektronenmikroskope. Das Vibrationsniveau der HiPace Plus-Serie liegt deutlich unter dem von Standard-Turbopumpen. Um das Vibrationsniveau noch weiter zu reduzieren, stellt Pfeiffer Vacuum außerdem einen speziell entwickelten Vibrationsisolator zur Verfügung. Da eine Vorpumpe erforderlich ist, bietet Pfeiffer Vacuum verschiedene trockene Lösungen an, wie ölfreie Membranpumpen, mehrstufige Wälzkolbenpumpen und ganz neu entwickelte Scrollpumpen. Ferner können verschiedene Messgeräte installiert werden, um Ihnen eine maßgeschneiderte Vakuumlösung zu bieten.

Hauptprodukte

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