Pfeiffer Vacuum

High Pressure Analyzer HPA 220

Gasanalyse im Druckbereich bis 50 hPa

Der High Pressure Analyzer HPA 220 ist ein modulares und flexibel einsetzbares Massenspektrometersystem mit trockenem Turbopumpstand für die Gasanalyse im Vakuum bis zu Drücken von 50 hPa.

Je nach Anwendung kann man bei dem HPA 220 zwischen fünf verschiedenen sowohl elektropneumatisch als auch manuell bedienbaren Gaseinlassventilen wählen.

Kundennutzen

  • Hohe Flexibilität durch 5 manuell oder elektropneumatisch bestätigte Gaseinlassoptionen zur Prozessanalyse, -überwachung, -kontrolle bis 50 hPa
  • Leichte und flexible Systemeinbindung durch eine Vielzahl von digitalen und analogen Ein- und Ausgängen
  • Multiplexbetrieb ermöglicht die Datenauswertung mehrerer Massenspektrometersysteme über einen PC
  • Kompakte Abmessungen für eine flexible Integration

Anwendungen

  • Analyse, Überwachung und Steuerung von Vakuumprozessen im Druckbereich von 1 · 10-7 bis 50 hPa
  • Hersteller und Betreiber von Vakuumbeschichtungs-
    anlagen
  • Halbleiterproduktion
  • Lithographie
  • Metallurgie
  • Vakuumöfen
  • Forschung und Entwicklung

Gasanalyse im Druckbereich bis 50 hPa

Broschüre HPA/SPM

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