Pfeiffer Vacuum

Restgasanalyse

Quadrupol-Massenspektrometer sind das klassische Messinstrument zur Beurteilung der Restgaszusammensetzung in einem Vakuumsystem.

Die vom Massenspektrometer gelieferten Ionenströme für das Masse-Ladungs-Verhältnis der Gasbestandteile liefern aussagekräftige Informationen über ein Vakuumsystem in den verschiedenen Betriebsphasen, sei es nach dem Aufbau bei der Beurteilung der Dichtigkeit und der Kontaminationsfreiheit oder beim Betrieb eines Vakuumprozesses zu dessen Charakterisierung.

Der Druckbereich, der im Vakuumsystem aufgrund der Auslegung von Vakuumkammer und Pumpsystem erreicht werden kann, bestimmt die Auswahl des Massenspektrometers bezüglich des Detektors. Im Hochvakuum ist oftmals ein Faraday-Detektor ausreichend während im Ultrahochvakuum ein Sekundärelektronenvervielfacher zum Nachweis der äußerst geringen Gasdichten erforderlich ist.

Ein weiteres wichtiges Kriterium ist der nachzuweisende Massenbereich. Im klassischen Vakuumsystem interessieren vorwiegend die Atmosphärengase Stickstoff, Sauerstoff, Argon und Wasserdampf sowie in der Regel Kontaminationen durch leichte Kohlenwasserstoffe. Für den Nachweis dieser Gase ist ein Quadrupol-Massenspektrometer für den Bereich 1 bis 100 atomare Masseneinheiten (amu) ideal, welches in diesem Bereich eine hervorragende Massentrennung aufweist. Sollen auch schwerere Gase und deren Bestandteile nachgewiesen werden, zum Beispiel längerkettige Kohlenwasserstoffe, so bietet Pfeiffer Vacuum hierfür Massenfilter für 1 bis 200 amu oder 1 bis 300 amu an.

Für die meisten Aufgaben in der Restgasanalyse ist eine offene Ionenquelle die beste Wahl, da sie einen robusten Aufbau mit einer hohen Nachweisempfindlichkeit verbindet. Aufgaben bei denen Gasstrahlen oder Gasströme analysiert werden sollen, können vorteilhaft mit einer geschlossenen oder einer Crossbeam-Ionenquelle gemeistert werden. Für den Ultrahochvakuumbereich steht noch eine Gitter-Ionenquelle mit besonders niedriger Ausgasrate bereit.
Dank der feinen Konfigurierbarkeit der Pfeiffer Vacuum Quadrupol-Massenspektrometer aus der Vielzahl von Bausteinen können die Spektrometer für alle Messaufgaben optimal ausgewählt werden. Unsere Produkt- und Anwendungsspezialisten mit langjähriger Erfahrung beraten Sie gerne bei der Konfiguration des geeigneten Restgasanalysators.

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