Pfeiffer Vacuum

Restgasanalyse im Hochvakuum

Quadrupol-Massenspektrometer mit Faraday-Detektor sind die Geräte der Wahl für die qualitative Analyse der Gaszusammensetzung in einer Hochvakuumkammer.

Gegenüber Vakuum-Messgeräten liefern Quadrupol-Massenspektrometer eine ungleich größere Fülle von Informationen über das Vakuum. Im Hochvakuum ist oftmals ein Faraday-Detektor ausreichend, um Informationen über Leckagen, Ausgasung von Wasserdampf oder Verunreinigungen mit Kohlenwasserstoffen zu erhalten. Pfeiffer Vacuum bietet hierzu eine Reihe von Quadrupol-Massenspektrometern mit verschiedenen Massebereichen und Filamentmaterialien an.

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