Pfeiffer Vacuum

Restgasanalyse im Ultrahochvakuum

Quadrupol-Massenspektrometer mit Sekundärelektronenvervielfacher bieten höchste Nachweisempfindlichkeit bei der qualitativen Analyse der Gaszusammensetzung in einer Ultrahochvakuumkammer.

Bei der Restgasanalyse im Hochvakuum müssen kleinste Gasmengen nachgewiesen werden. Eine hohe Verstärkung der vom Quadrupol-Massenfilter gelieferten kleinen Ionenströme gewährleistet daher in den Restgasanalysatoren von Pfeiffer Vacuum ein Sekundärelektronenvervielfacher. Alle verwendeten Materialien sind sorgfältig für den Einsatz im UHV ausgewählt und bis zu hohen Temperaturen ausheizbar.

Mehrere Ionenquellen für verschiedene Anwendungsfälle stehen zur Verfügung, einschließlich einer Gitter-Ionenquelle mit besonders niedriger Ausgasrate.

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