Pfeiffer Vacuum

Mehrstufige Wälzkolbenpumpen für anspruchsvolle Prozesse

Die ölfreien Prozesspumpen der A4 Serie sind energie- und kosteneffiziente Lösungen für anspruchsvolle Prozesse der Halbleiter- und Beschichtungsindustrie.

Was sind anspruchsvolle Prozesse?
Unter anspruchsvollen Prozessen (englisch „harsh processes“) versteht man chemische Bearbeitungsprozesse, z.B. in der Halbleiter- und Beschichtungsindustrie. Anspruchsvoll sind diese Vakuum-Prozesse deshalb, da dort überwiegend aggressive sowie korrosive Medien eingesetzt werden. Diese Medien stellen höchste Ansprüche an Ausführung und Qualität der Prozessanlagen. Typische anspruchsvolle Anwendungen sind Trockenätzprozesse und chemische Gasphasenabscheidung (CVD).

Die richtige Version für Ihre Anwendung
Die A4 Serie ist in zwei Versionen erhältlich. Die Pumpen der Version A4H sind geeignet für Prozesse, in denen unkritische oder nur leicht korrosive Chemikalien zum Einsatz kommen. Speziell für stark korrosive Anwendungen sind die A4X Pumpen mit korrosionsresistenten Materialien ausgestattet, um die Betriebsdauer zu verlängern und Betriebskosten zu senken.

Das richtige Equipment ist entscheidend
Da in anspruchsvollen Prozessen aggressive und korrosive Chemikalien eingesetzt werden, müssen die Vakuumpumpen und -komponenten korrosionsbeständig sein. Bei Anwendungen in der Halbleiter- und Beschichtungsindustrie kommt es häufig zu einem erhöhten Auftreten von Stäuben, die zu Ablagerungen in den Vakuumpumpen führen können. Es muss deshalb darauf geachtet werden, dass die eingesetzten Prozesspumpen für diese Belastung durch Stäube geeignet sind. Zur bestmöglichen Vermeidung von Kondensation in der Pumpe wird Spülgas in Kombination mit einem technisch ausgereiften Temperaturmanagement eingesetzt.

Prozesspumpen von Pfeiffer Vacuum für anspruchsvolle Anwendungen
Pfeiffer Vacuum bietet mit der A4 Serie Pumpenlösungen für die anspruchsvollsten Prozesse der Halbleiter- und Beschichtungsindustrie. Die Serie basiert auf der bewährten Technologie der ölfreien mehrstufigen Wälzkolbenpumpe. Eine hohe Partikeltoleranz und Kondensationsresistenz zeichnet die Pumpen der A4 Serie aus. Ihre kompakte und modulare Bauweise ermöglicht eine platzsparende Integration in bestehende Anlagen. Lange Wartungsintervalle und ein geringer Energieverbrauch sorgen für niedrige Betriebskosten.

Video

Broschüre A4 Serie

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