Pfeiffer Vacuum

ADH Serie

Die neuen ölfreien Hochleistungspumpen für aktuelle Prozessanwendungen

Höchstes Wasserstoff-Saugvermögen bei niedrigen Betriebskosten
Einer der wichtigsten Vorteile der ADH-Serie liegt in ihrem hohen Saugvermögen für Wasserstoff, das eine schnellere Evakuierung der Kammer zwischen den Prozessschritten ermöglicht. In Verbindung mit einer großen Durchflusstoleranz erfüllen die ADH-Pumpen dadurch die anspruchsvollsten Prozessanforderungen. Dank ihrer optimierten Bauart bieten die Pumpen den effizientesten Energieverbrauch, der auf dem Markt in diesem Bereich der Pumpleistung erhältlich ist.

Keine Zwischenwartung
Alle Lager sind ölgeschmiert und erfordern keine Wartung vor Ort. Eine verbesserte Staubtoleranz, Kondensationsmanagement und ein Leerlaufmodus tragen dazu bei, die Betriebskosten zu senken.

Hohe Widerstandsfähigkeit gegen Prozessnebenprodukte
Die Pumpen sind mit einem doppelten temperaturgesteuerten Kühlwasserkreislauf und einer integrierten heißen Stickstoffspülung ausgestattet, um Staubablagerungen oder Kondensation zu vermeiden. Der leistungsstarke Motor bewältigt auch erhöhte Belastungen durch Stäube und garantiert gute Wiederanlauffähigkeiten. Die ADH-Serie wurde mit einem komplett neuen Überwachungssystem aufgerüstet und trägt mit ihren Funktionen zu einer erhöhten Prozesszuverlässigkeit bei.

Robust und sicher
Bauart und Materialien der ADH-Serie ermöglichen die Bewältigung von großen statischen und dynamischen Innendruckbelastungen. Dies gewährleistet das höchste Sicherheitsniveau für Anwendungen, die mit explosiven Gasen wie Wasserstoff oder Silan betrieben werden.

Vorteile

  • Bis zu 4.500 m3/h Saugvermögen mit vergleichbarer Leistung für Stickstoff und Wasserstoff.
  • Gleiche Leistung bei Stromversorgung mit 50 und 60 Hz.
  • Geringe Betriebskosten durch niedrigen Energie- und Wasserverbrauch
  • Hohe Staubförderleistung
  • Verbesserte Sicherheit durch eine herausragende Beständigkeit gegen statische und dynamische Innenbelastungen

Anwendungen

  • Halbleiter (ALD, Epitaxie und EUV)
  • Flachbildschirme (FDP)
  • Solarzellen (a-Si und μ-Si PECVD)
  • LED (MOCVD GaN, AlGaAs, AlGaInP…)

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Broschüre ADH Serie

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