Pfeiffer Vacuum

Luftgekühlt

Ölfreie, kompakte mehrstufige Wälzkolbenpumpen. Sauberes Vakuum. Hohe Zuverlässigkeit.
Die Technologie der mehrstufigen Wälzkolbenpumpen der ACP Reihe erfüllt die Anforderungen von Anwendungen, bei denen es auf sauberes und ölfreies Vakuum ankommt.

Vorteile

  • Optimale Lösung – Idealer Ersatz für Scrollpumpen und ölgeschmierte Pumpen
  • Luftkühlung – Keine Installations- und Betriebskosten
    für Wasserkühlung
  • Frequenzumrichter – Betriebsstundenzähler, Fernsteuerung (RS-485, potentialfreie Kontakte), mehrfache Anwahl Drehzahlen (Energiesparen, reduzierter Schalldruck, Anpassung
    an die Anwendung)
  • Spülgasoptionen – Spülgas, Gasballast, weitere Anschlüsse je nach Anwendung
  • Universeller Netzanschluss – Weiter Spannungsbereich, 50/60 Hz einphasig und dreiphasig
  • Normen – CE-Norm, UL/CSA-zertifiziert, SEMI S2-zertifiziert

Anwendungen

  • Elektronenmikroskope
  • Oberflächenanalysegeräte
  • Lecksucher
  • Massenspektrometer
  • Optische Spektrometer
  • Teilchenbeschleuniger
  • Turbopumpstände
  • Laboranwendungen
  • Lampenherstellung
  • Vakuumbeschichtung
  • Kryopumpenregenerierung
  • Plasmareinigung
  • Trocknen
  • Schleusen

Baureihen im Überblick

  • SD-Versionen für Anwendungen mit staubfreien, nicht korrosiven Gasen

Die SD-Version ist für Anwendungen mit sauberen (staubfreien) und nicht korrosiven Gasen ausgelegt. Die Standardpumpen sind mit einer Gasballastvorrichtung ausgestattet, um das Pumpen von leichten Gasen zu verbessern und die Kondensation von Dämpfen im Pumpeninneren zu vermeiden. Drei Gasballastoptionen erfüllen die Kundenanforderungen bedarfsgerecht.

  • G-Versionen für den Einsatz bei geringen Mengen von korrosiven Gasen

Die G-Version kann Spuren korrosiver Gase fördern. Ein inertes Spülgas schützt Niederdruck- und Hochdrucklager und verdünnt die korrosiven Medien im Schöpfraum.

Die CV-Version ist speziell darauf ausgelegt, eine Dampfkondensation im Inneren des Pumpenblocks zu vermeiden. Dies geschieht durch: Einen hohen Gasballastdurchsatz zur Erwärmung der Pumpe und der Verdünnung der kondensierbaren Gase. Einen Schalldämpfer mit Ablassschraube zur Flüssigkeitsentleerung am niedrigsten Punkt des Auspuffs. Spülgasinjektion zum Schutz der Kugellager und der Wellendichtungen. Die CV-Version hat eine Wasserdampfkapazität von bis zu 1.000 Gramm pro Stunde.

Keine Partikelkontamination
Das berührungslos arbeitende Pumpenmodul kommt ohne interne Schmiermittel aus. Es erzeugt ein ölfreies Vakuum ohne Rückströmung von Kohlenwasserstoffdämpfen. Zwischen Rotor und Stator ist kein Dichtungsmaterial vorhanden. Damit wird eine Partikelbildung vermieden.

Hohe Zuverlässigkeit
Im Pumpenblock befinden sich keine Verschleißteile – dies ermöglicht unübertroffene Langzeitstabilität und eine hohe Zuverlässigkeit selbst in anspruchsvollsten Anwendungen.

Konstante Leistung
Der Motor mit Frequenzumrichter sorgt für eine konstante Drehzahl, unabhängig von Netzspannung und Frequenz. Damit werden überall auf der Welt identisches, stabiles Saugvermögen und reproduzierbarer Enddruck erreicht.

Geringe Servicekosten
Unsere ACP-Pumpen haben Wartungsintervalle von 22.000 Betriebsstunden (ACP 28 / 40) bzw. 20.000 Betriebsstunden (ACP 15), die zu niedrigeren Lebensdauerkosten führen.

Für kondensierbare Dämpfe geeignet
Hoher Spülgasdurchsatz und ein externer Schalldämpfer mit Ablassschraube ermöglichen das Fördern großer Mengen kondensierbarer Dämpfe (bis zu 1.000 g/h reiner Wasserdampf).

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