Modular and flexible solutions for qualitative and quantitative gas analysis

SPM 220, 1–200 amu

Sputterprozess-Gasanalyse im Bereich von 1–200 amu

Produktbeschreibung

  • SPM Ionenquelle zur momentgenauen Prozessüberwachung bis 10-2 hPa
  • Hervorragende Nachweisgrenzen für H2, O2, H2O sowie CO2
  • Minimierter Untergrundeinfluss auf das Messergebnis
  • Kompakte Abmessungen für eine flexible Integration
  • Differentiell gepumpte Version für Drücke bis 10 hPa
  • Leichte und flexible Systemeinbindung durch eine Vielzahl von digitalen und analogen Ein- und Ausgängen
  • Multiplexbetrieb ermöglicht die Datenauswertung mehrerer Massenspektrometersysteme über einen PC

Produkt

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Pfeiffer Vacuum Inc.
24 Trafalgar Square
NH 03063-1988 Nashua
USA

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